CMA：電子エネルギー分析システムCylindrical Mirror Analyzer

KCMA2009 この製品は販売を終了いたしました。

本システムは高真空中に置かれた試料に電子線を照射し、散乱された電子の運動エネルギー分布を測定する一体型の電子分光装置です。ことに電子衝撃で発生するオージェ電子を観測するオージェ電子分光のスペクトル測定に特化しており、試料表面の清浄化プロセスの観察、試料表面吸着種の元素分析、イオンガン等を併用した試料深さ方向元素分析等、ルーチン的な観測に最適です。

＜CMA本体＞
KCMA-114Nは共軸電子内蔵型のCMAです。外径は55mmφと超小型で、多数の分析ヘッドが同居する装置、試料回りのスペースに余裕がない場合、小形の装置等には最適です。
また、CMA全体が前後可動となっており、マルチテクニック表面分析には好適なサイズです。
十分な感度と分解能をもって測定することができます。

＜CMA電源制御＞
CMA電源制御はディジタルシグナルプロセッサのパラレルインターフェイスを利用して、電子銃・CMA・電子増倍管の各設定電圧電流及び出力電流検出動作のパラメーターを全て外部パソコンで制御するインテリジェントな統合電源回路です。
内部高電圧は、モジュール化されたスイッチング電源回路と高電圧発生回路により発生され、8種の供給電源設定、6種の電圧電流測定、その他ディジタルスイッチ動作をすべてDSPが行います。
また、SN比向上のためのロックイン動作は、DSPが発生する正弦波をCMA外筒電圧に重畳させ、電子倍増管出力をそのままDSPが取込んで行います。
今まで「ロックインアンプ」という独立の装置で行っていた信号処理を、ハイスピードのDSPがディジタル的にバーチャルに実現します。
ホストコンピュータとのインターフェイスは、Windows XP系統のパソコンにUSBケーブル1本で接続するのみです。

データー処理ソフトウェアはCMA電源回路をMicrosoft Windows 2000/XPパソコンで制御するためのオージェスペクトル専用ソフトウェアです。電子銃、CMA、電子増倍管及び検出回路のすべてのパラメーターをWindowsフォーマットで制御できます。データーはスペクトル型、または時間変化型でストアされ、内蔵の標準データーとの比較も行えます。