SEM用 極高真空装置

走査電子顕微鏡装置／ SEM：Scanning Electron Microscope

SEM像

本装置は細く絞った電子プローブで試料上を走査し、試料内部から発生する二次電子で結像させることにより表面形状観察をCRTで観察を行う電子検出形表面分析装置です。半導体の側長、検査装置、マスク描画装置などに応用されます。(8.1.2)

（株）アプコ社製 SEM
（ http://homepage3.nifty.com/APCO/index.html ）

（独）理化学研究所殿、　(独)物質・材料研究機構殿
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