ロードロック機構Load-Lock System
KITANO SEIKIのロードロック機構は、本体チャンバーを超高真空に保ちながら試料交換を可能にした真空システムです。本装置は、ロードロックチャンバー・試料交換扉・試料搬送ロッドなどで構成されており、試料交換を容易にすることができます。また200℃ベーキングが可能で超高真空対応になっております。さらに研究開発者のご要望に応じて、試料搬送機構、フランジの数や角度、位置などを細かく御指定いただくことが可能です。
| ロードロックチャンバー |
| 材質 |
SUS-304 |
| 形状 |
球形 |
| 取付フランジ |
ICF-34（1個）、ICF-70（1個）、ICF-114（2個）、ICF-152（3個） |
| 処理 |
バフ研磨処理+電界研磨処理+真空脱ガス処理 |
| チャンバー有効内径 |
Φ90mm |
| エントリー・ハッチ（試料交換扉） |
| ビューイングポート（覗き窓）：ICF-152 |
| 真空シールは、バイトンガスケット・銅ガスケットの両方を使用可能です。 |
| XYチルト機構 |
| XYチルト機構、XYステージ、ベロージョイントの中から目的に応じて選択できます。 |
| トランスファーロッド |
| KITANO SEIKIの豊富な搬送機器の中から御仕様に応じて選択できます。 |
| オプション |
| 真空排気ポンプ、ビューイングポート（覗き窓）、ゲートバルブ |
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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