HOME > 製品案内|有機EL試作用デバイス製造装置 > 有機蒸着源熱処理クリーニング装置 製品に関するお問合せ・資料請求はこちらから

有機EL試作用デバイス製造装置

一覧へもどる
有機EL試作用デバイス製造装置OLED Production Systems for R&D

有機蒸着源熱処理クリーニング装置 Thermal Cleaning System for Organic Source

外観図 Dimensions
装置外観
装置外観
装置全体図
CADデータ(準備中)
見積もり
有機蒸着源熱処理クリーニング装置
特徴

有機EL、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などの素子作製用の有機蒸着源のクリーニングを行う装置です。有機溶剤等にて脱着困難な有機材料をヒーターによる熱にて真空加熱を行う事で、付着物を除去する効果があります。
ヒーターには、ハロゲンヒーターを用いており、MAX500℃まで対応可能です。

用途
  • 有機蒸着源のクリーニング
  • 有機EL 関連部品のクリーニング 等
一覧へもどる
PAGE TOP