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| 超高真空対応マグネトロンDCスパッタソース |
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| 超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース |
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| 超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 この製品は販売を終了いたしました。 |
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PreVac社製品
| （簡易型）イオン銃 IS 40C1 |
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| 走査型イオン銃 IS 40E1 |
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| ミニ電子ビーム蒸着装置 EBV 40A1 |
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| 蒸発セル EF 40C1 |
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| 走査型電子銃 ES 40C1 |
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| 帯電防止用電子銃 FS 40A1 |
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| 紫外線源 UVS 40A2 |
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| X線源 RS 40B1 |
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| チャンバー照射用LEDライトシステム VCH-02 |
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| 蒸着用成膜コントローラー TMC-13 |
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| ヒーター用電源コントローラー HEAT3-PS |
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ITL社製品
| モジュラー型蒸着源／ 超高真空型 MESシリーズ |
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| 電源コントローラー／PS10 |
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| ソースコントローラー／SCM220 |
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| XYスイープ・コントローラー／XYPSC208 |
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