走査プローブ顕微鏡装置（SPM）用 極高真空装置

走査プローブ顕微鏡装置／ SPM：Scanning Probe Microscope

STM像

AFM像

本装置はプローブ（探針）を物質表面上で走査させ、実空間で表面の形状を原子レベルで得ることが出来る表面分析顕微鏡装置です。プローブに負電圧を印加し、観察する試料表面に近接させ、プローブと試料表面の間の空間に流れるトンネル電流を測定することにより試料表面の形態を原子レベルで観察することができる走査型トンネル顕微鏡（STM：Scanning Tunneling Microscope:）と、プローブ先端の原子と試料表面の原子の間に働く力を検出することによって試料表面の形態を調べることができる原子間力顕微鏡(AFM：Atomic Force Microscope)などがございます。(7.1.14.10)

主な装置構成は、分析室、準備室、試料作成室、試料導入室等の超高真空〜極高真空領域の3室〜4室から構成されます。

Omicron社製 SPM （ http://www.omicron.de/index2.html ）
（株）ユニソク社製 SPM （ http://www.unisoku.co.jp/ ）

（独）物質・材料研究機構殿 （ http://www.nims.go.jp/atom_ele_gr/index.html ）
東京大学殿 （ http://komori.issp.u-tokyo.ac.jp/ ）
東北大学殿 （ http://apfim.imr.tohoku.ac.jp/ ）
（独）産業技術総合研究所殿
…他