PreVac社製品

（簡易型）イオン銃 IS 40C1　Ion Source IS 40C1

40C1イオン銃は試料表面をクリーニングするためのコンパクトで簡便なイオン銃です。
取付フランジは、DN40CF（外径70mm）で容易に装着が可能です。
イオン電流の電流密度は15〜25A/cm²（アルゴン）でガウシアンの形状をしています。
真空下のソース長は標準では63mmですが、お客様のご要望に応じて製作できます。
イットリウムがコーティングされたイリジュウムフィラメントは他のカソードより低い温度で動作し、不活性ガスの対応だけでなく酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入も可能となります。

走査型イオン銃 IS 40E1　Ion Source IS 40E1

40E1イオン銃は、2段の出射レンズを採用した収束型イオン銃です。
2段の出射レンズによって、スポットサイズと加速電圧（0.15eV〜5keV）が簡単に可変出来ます。この場合ビーム電流値は250μA/cm²となります。他の製品との干渉を避けるためイオン銃先端が50ºのテーパー状に絞られています。このイオン銃のフィラメントの取付位置は銃内部の汚染を避けるため、試料表面への入射イオンビームのラインに対してオフ アクシスに設計されています。
これにより長寿命で調整のいらないイオン銃が実現いたしました。
イットリウムがコーティングされたイリジュウム フィラメントは他のカソードより低い温度で動作します。また酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入が可能となります。走査範囲はワーキング距離が23mmの位置で、10 x10 mmとなり均一なスパッターが出来ます。これによって、深さ方向の分析が正確に出来ます。

ミニ電子ビーム蒸着装置 EBV 40A1　Electron Beam Evaporator EBV 40A1

EBV 40A1は数原子層の膜を作製するためやMBE装置で作製した多層膜のドーパント用として開発された装置です。フラックスを監視しながら蒸発量を正確にコントロールすることによって1分間に1/10層の膜を作製することが出来ます。
また超高真空下で蒸発させることにより非常に純度の高い膜成長が可能となります。蒸発量のコントロールは作製する膜の均一性にも有効に作用します。基板上の成膜の範囲はソース先端と基板との距離及びノズルの出射アパチャーのサイズにより決められます。尚、手動シャッターが標準装備されていますが、モータ駆動による自動シャッターのご要望にも対応しています。

蒸発セル EF 40C1　Effusion Cell EF 40C1

EF 40C1 蒸発セルはMBE装置に適応したセルとして開発されました。
モリブデンフリーの材質によって製作されているため250〜1500℃の範囲で蒸発する低融点及び中融点材料に対して使用出来ます。

走査型電子銃 ES 40C1　Electron Source ES 40C1

ES 40C1電子銃はオジェー電子分光用に開発された走査型の電子銃です。アインツェルレンズを採用することによって高い電子ビームエネルギーから低い電子ビームエネルギーまで広範囲の電子ビームエネルギーに渡って大きなビーム電流が得られます。

帯電防止用電子銃 FS 40A1　Flood Source FS 40A1

FS 40A1はXPS、UPS、SIMSに用いる帯電防止用電子銃として開発されました。
簡便性、容易性、信頼性をコンセプトに設計されています。アプリケーションに合わせて電子ビームエネルギーが選択できます。またお客さまのご要望に応じて、磁場遮蔽用シールド材、真空内ソース長の変更ができます。

紫外線源 UVS 40A2　UV Source UVS 40A2

UVS 40A2は各種ガス（ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、水素）に対応した紫外線発生装置です。紫外線源の放電は冷陰極力ソードキャピラリー領域で行われます。
紫外線の出力低下を避けるため、放電領域とターゲットの間はウインドウレス（直線のパイプ形状）になっており、紫外線出力は電気的に安定化されています。また、高出力を得るため紫外線ランプは水冷式を採用しています。
紫外線源に装着されているポートアライナーによって、紫外線出射角度を±4ºで調整ができます。緊急時には事故を回避するためのインターロックが装備されています。

X線源 RS 40B1　X-Ray Source RS 40B1

RS 40B1は光電子分光用に開発された新型、高出力のツインアノード(Al/Mg)X線源です。ツインアノードを前後に可動させるためのZシフトもオプションで準備されています。
他社製品の取替え用X線源としても広く採用されています。

チャンバー照射用LEDライトシステム VCH-02　Vacuum Chamber Highlight System VCH-02

このVCH-02は、真空装置内のサンプル周りや受け渡し、各分析機器、蒸着源の周りを照らすのに最も適したLEDライトシステムです。
低消費電力でありながら高感度、高輝度、高寿命と省エネ時代に求められた製品です。小型の電源BOXと手元で照度を変えることのできるリモートコントローラーが特徴でお客様のPCでも制御が可能です。
小型電源、リモートコントローラーで1度に10個のLEDライトが制御できます。ICF70用はシングルライト、ICF114用以上はダブルライトになっており、1個のライトに5mのケーブルが付いているので大型の装置にも装着が可能です。ライトは単品で販売しておりますので、拡張性がございます。

蒸着用成膜コントローラー TMC-13　Thickness Monitor Controller TMC-13

TMC-13は、標準6MHz水晶振動子に対応した膜厚モニターとなります。
操作は、液晶タッチパネルから可能であり、シンプルでコンパクトなデザインです。
研究開発用の簡易金属蒸着には適している製品です。
インターフェイスも4種類から選択可能であり、シャッター制御も可能な製品です。

ヒーター用電源コントローラー HEAT3-PS　Heating Power Supply HEAT3-PS

HEAT3-PSは、抵抗加熱式と電子ビーム加熱式の2種類の制御が選択可能です。
また、熱電対接続端子も付いており、温度制御も可能な高性能電源です。
操作は、液晶タッチパネルから可能であり、抵抗加熱式であれば、40V-10A（MAX）仕様であり、電子ビーム加熱式ですと1kV（DC）-300mA仕様となります。