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セレン対応型シャッター付ビームフラックスモニター

セレン対応型シャッター付ビームフラックスモニター　KBFM-70S-Se

概要
  • ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するもので、MBE装置等において使用されます。
  • 測定位置を固定とし、ゲージ部を覆うシャッターの開閉機構を備えたフラックスモニターです。
  • 内部部品には、セレン雰囲気での使用にも対応した材質を使用しております。
セレン対応型シャッター付ビームフラックスモニター
特徴
  • キヤノンアネルバ製のミニチュアゲージを使用。
  • 取付フランジはICF-70。
  • 大気側のレバーを操作することにより、真空中で筒型のシャッターを前後させることが可能。非測定時にゲージを守ります。
  • セレン雰囲気下での使用に対応*するため、内部には銅の部品を使用しておりません。
  • 測定位置（図中L寸法）はご要望に応じて変更が可能。
  • 測定値のアナログ出力が可能。
  • 構成部品に電解研磨を施すことにより、ガス放出を低減。
*セレン雰囲気下での使用する場合、通常の使用に比べてB・Aゲージの寿命が短くなる場合があります。修理対応にてゲージ球の交換を承ります。
寸法図（シャッター開時）
寸法図（シャッター開時）
イメージ図（シャッター閉時）
イメージ図（シャッター閉時）
仕様 Specification
取り付けフランジサイズ ICF070
最高ベーキング温度 200°（コネクタ部除く）
センサー ミニチュアB・Aゲージ
Heリークレート 1×10-9Pa・m³/sec以下
測定上限圧力　※１ 13Pa
測定下限圧力　※１ 10-7Pa台
ゲージ感度　※１ 0.045Pa-1
販売価格 ¥1,250,000
納期 お問い合わせください
本製品には真空計表示器（キヤノンアネルバ製）と接続用のケーブル一式が含まれます。
※1　記載の値はゲージ球の仕様に基づくものです。本ユニットにおいては値が異なる場合があります。
※2　形状等変更可能な仕様がございますので、お気軽にお問い合わせください。
※3　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※4　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
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