近年、ナノテクノロジー、次世代半導体、フラットパネルディスプレー、新素材などの基礎・応用研究開発分野や産業界では、MBE、CVD、スパッタリングなどの薄膜作製装置やSPM、FIM、AP、CMAなどの分析装置の高性能化、高機能化、そして複合化が要求されております。
北野精機では、主に実験・研究用としての真空チャンバーをはじめ、さまざまな真空装置・機器を設計製作・提供しております。これらの装置・機器の設計製作にあたっては、部品づくりから一貫した製作体制を確立。“メインチャンバー・試料準備室・ロードロック室・試料搬送機構などの装置構成”、あるいは“各種真空ポンプや真空測定系の最適な組み合わせ”など、設計段階からお客様との綿密な打ち合わせを重ね、目的や要望を的確に把握、研究開発・実験の目的を的確にサポートする機器を設計・開発。部品づくりから処理、洗浄、組立・リークテスト、装置立ち上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質の製品と良質な研究開発・実験環境を提供しています。

ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター	Beam Flux Monitor

真空加熱プレス機

真空加熱プレス機	KIK-VHP

試料搬送装置

試料搬送装置	KSC-1000

その他の装置・機器

手回し発電機	手回し発電機
ベーキング用ユーティリティ	Baking Utility
極低温機器	Cryogenic System
制御シーケンス	Gas供給システム
低温高圧セル	低温高圧セル
レーザー冷却原子生成チャンバー	Laser-Cooled Atoms Generation Chamber
冷却原子ビーム生成装置	Cooling Atom Beam Generation Device System
水冷付きホットステージ	Hot Stage with Water-cooled
コンパクトガス導入システム	Compact Gas Introduction System