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コンパクトガス導入システムCompact Gas Introduction System

コンパクトガス導入システム

外観図 Dimensions
コンパクトガス導入システム
背面側
背面側
N2ガス中の水分量とガス放出速度の関係
N2ガス中の水分量とガス放出速度の関係 *
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見積もり
コンパクトガス導入システム
*Ref. : K.Yamazaki, J.Shike, M.Yamagata,M.Kitano, M.Nishiwaki, S.Kato:Vacuum 84 (2010) 756.
講演資料
概要

KGISはガスボンベの純度を維持したままチャンバーにガスを導入するためのシステムです。システム内部が均一な温度になるよう、ヒーターが設置されています。配管内の水分吸着を最小限に抑えることで、ドライなガスをチャンバー内に導入できます。ベントガスやプロセスガスの導入に最適な製品です。

特徴
  • 温度均一性と断熱に配慮された設計
  • 排気ポートで内部の真空排気が可能
  • 露点計(オプション)を設置可能
  • 付属温調器で容易に温度制御が可能
  • 付属バンドにより容易にボンベに固定可能
仕様 Specification
ガス導入・排出口 3/8inch Swagelok
排気ポート 3/8inch Swagelok
ベーキング温度 150℃
温調器入力 100V(50/60Hz)
N2ガス中水分量実績値 0.065vol. ppm
露点計(オプション)
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