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トランスファーロッド駆動時のガス放出

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング無)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、真空排気をしました。
  • トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、6.5×10-8Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
トランスファーロッド駆動時のガス放出(ベーキング無)

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(プレベーキング)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間ベーキング(トランスファーロッドのみ)を実施しました。
  • ベーキング終了後、チャンバーを大気開放し、トランスファーロッドを一時取り外します。
  • 取り外した後、1時間経過の後にトランスファーロッドをチャンバーに再び設置し、真空排気を行ないます。
  • トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、1.2×10-7Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
トランスファーロッド駆動時のガス放出(プレベーキング)

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング有)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間のベーキング(トランスファーロッドのみ)を実施しました。
  • ベーキング終了後、トランスファーロッドを上下に連続的に稼動させ、稼動前と稼動中にてデータを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、3.9×10-8Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
トランスファーロッド駆動時のガス放出(ベーキング有)