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真空部品

ホーム製品案内真空部品ICF規格品
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ICF規格品

ICFフランジは国際標準規格に準じた品質及び寸法であり、主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されております。ICFフランジには、ブランク・タップ・回転の3種類があり、用途や各部品の接続環境等によって使い分けます。特に、装置全体のボリュームが大きい時などは、配管等も複雑になりますのでタップや回転フランジの働きが重要になります。許容温度範囲は、−190℃から+450℃までの使用が可能です。通常のICFフランジの他に、ボルト穴数やフランジの厚み等の違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。また、超高真空領域にて用いられる場合は、ベーキング処理(真空炉450℃にて48時間ベーキング)も承ります。

FH (固定フランジ) 材質:SUS304L

FH (固定フランジ)
FH (固定フランジ)
仕様
  ICF-34FH ICF-70FH ICF-114FH
仕様 A寸法(mm) φ34 φ70 φ114
PCD寸法(mm) 27 58.7 92.2
T寸法(mm) 8 13 18
穴数(個) 6 8
穴径(mm) Φ4.4 Φ6.4 Φ8.4
見積もり
  ICF-152FH ICF-203FH ICF-253FH
仕様 A寸法(mm) φ152 φ203 φ253
PCD寸法(mm) 130.3 181.1 231.9
T寸法(mm) 21 22 25
穴数(個) 16 20 24
穴径(mm) Φ8.4
見積もり
  ICF-306FH ICF-356FH ICF-406FH
仕様 A寸法(mm) φ306 φ356 φ406
PCD寸法(mm) 284 325.4 381
T寸法(mm) 28 28.6
穴数(個) 32
穴径(mm) Φ8.4 Φ10.4
見積もり
特徴
  • 取り扱いフランジの材質は通常SUS304Lです。
  • サイズは、ICF-34からICF-306までは標準在庫しております。
  • 最大ICF-406までの対応が可能です。(但し、ICF-306以上のフランジは規格が統一されていませんので、ご相談下さい。)

FT (タップフランジ) 材質:SUS304L

FT(タップフランジ)
FT(タップフランジ)
仕様
  ICF-34FT ICF-70FT ICF-114FT
仕様 A寸法(mm) φ34 φ70 φ114
PCD寸法(mm) 27 58.7 92.2
T寸法(mm) 8 13 18
穴数(個) 6 8
穴径(タップ) M4 M6 M8
見積もり
  ICF-152FT ICF-203FT ICF-253FT
仕様 A寸法(mm) φ152 φ203 φ253
PCD寸法(mm) 130.3 181.1 231.9
T寸法(mm) 21 22 25
穴数(個) 16 20 24
穴径(タップ) M8
見積もり
  ICF-306FT ICF-356FT ICF-406FT
仕様 A寸法(mm) φ306 φ356 φ406
PCD寸法(mm) 284 325.4 381
T寸法(mm) 28 28.6
穴数(個) 32
穴径(mm) M8 M10
見積もり
特徴
  • 取り扱いフランジの材質は通常SUS304Lです。
  • サイズは、ICF-34からICF-306までは標準在庫しております。
  • 最大ICF-406までの対応が可能です。(但し、ICF-306以上のフランジは規格が統一されていませんので、ご相談下さい。)

RH(回転フランジ) 材質:SUS304L

RH(回転フランジ)
RH(回転フランジ)
  ICF-34RH ICF-70RH ICF-114RH
仕様 A寸法(mm) φ34 φ70 φ114
B寸法(mm) φ20 φ43.5 φ71
C寸法(mm) 6 7.6 12.7
PCD寸法(mm) 27 58.7 92.2
T寸法(mm) 8 13 18
穴数(個) 6 8
穴径(mm) Φ4.4 Φ6.4 Φ8.4
見積もり
  ICF-152RH ICF-203RH ICF-253RH
仕様 A寸法(mm) φ152 φ203 φ253
B寸法(mm) φ115.5 φ155 φ204
C寸法(mm) 14.2 15.8 17.2
PCD寸法(mm) 130.3 181.1 231.9
T寸法(mm) 21 22 25
穴数(個) 16 20 24
穴径(mm) Φ8.4
見積もり
  ICF-306RH ICF-356RH ICF-406RH
仕様 A寸法(mm) φ306 φ356 φ406
B寸法(mm) φ257 φ296 φ350
C寸法(mm) 18.6
PCD寸法(mm) 284 325.4 381
T寸法(mm) 28 28.6
穴数(個) 32
穴径(mm) Φ8.4 Φ10.4
見積もり
特徴
  • 取り扱いフランジの材質は通常SUS304Lです。
  • サイズは、ICF-34からICF-306までは標準在庫しております。
  • 最大ICF-406までの対応が可能です。(但し、ICF-306以上のフランジは規格が統一されていませんので、ご相談下さい。)

ビューイングポート付フランジ(ゼロレングス) VP-34・70・114・152・203
材質:SUS304

ビューイングポート付フランジ(ゼロレングス)
ビューイングポート付フランジ(ゼロレングス)
仕様
  VP-34 VP-70 VP-114
仕様 適用フランジ ICF-34各種 ICF-70各種 ICF-114各種
A寸法(mm) φ34 φ70 φ114
B寸法(mm) φ15.9 φ35.6 φ68.3
PCD寸法(mm) 27 58.7 92.2
T寸法(mm) 7.2 12.7 17.4
見積もり
  VP-152 VP-203
仕様 適用フランジ ICF-152各種 ICF-203各種
A寸法(mm) φ152 φ203
B寸法(mm) φ98.6 φ136.7
PCD寸法(mm) 130.3 181.1
T寸法(mm) 20 22.3
見積もり

※ 窓部材質が通常のコバールガラスの他に「サファイア」・「石英ガラス」を使用したものがございます。
サファイア・石英ガラスをご注文の際は型式の後に材質をご指定下さい。

特徴
  • ICF規格のフランジに硬質ガラスを使用した覗き窓です。
  • 超高真空領域までの使用が可能です。
  • ビューイングポートはゼロレングスで、表面のガラス面とフランジ面が同じ厚みで突出していませんので、ボルト締め作業中の衝撃による破損等の心配が少なくなります。(コバールガラスに関して)
  • 通常ガラスはコバールですが、石英ガラスやサファイア、鉛ガラス等の仕様も取り扱っております。

KODIALガラスビューポート VPZ-34・70・70LA・114・152・203
ガラス材質:KODIALガラス

KODIALガラスビューポート
KODIALガラスビューポート
仕様
  VPZ-34 VPZ-70 VPZ-70LA
仕様 適用フランジ ICF-34各種 ICF-70各種 ICF-70各種
A寸法(mm) φ34 φ70 φ70
B寸法(mm) φ16 φ38 φ40
PCD寸法(mm) 27 58.7 58.7
T寸法(mm) 12.7
見積もり
  VPZ-114 VPZ-152 VPZ-203
仕様 適用フランジ ICF-114各種 ICF-152各種 ICF-203各種
A寸法(mm) φ114 φ152 φ203
B寸法(mm) φ63 φ89 φ136
PCD寸法(mm) 92.2 130.3 181.1
T寸法(mm) 17.4 19.9 22.3
見積もり
特徴
  • KODIALガラス(Kodial glass (alkali borosilicate 7056))を使用した観察窓です。
  • 超高真空領域までの使用が可能です。
  • 鉛ガラス盤と組み合わせることで観察窓としてだけでなく、X線からの身体の保護を目的としても使用されます。
  • ガラス材質は通常のKODIALガラスの他に合成石英ガラス、フッ化マグネシウムガラスも承っておりますのでご相談下さい。
  • 耐熱温度は350℃となります。ベーキング時の急激な加熱は避け、毎分2〜3℃以下で加熱するようにご注意下さい。

鉛ガラス盤付きガラスビューポート VPZ-34LG・70LG・114LG・152LG
ガラス材質:鉛ガラス・KODIALガラス

鉛ガラス盤付きガラスビューポート
鉛ガラス盤付きガラスビューポート
仕様
  VPZ-34LG VPZ-70LG VPZ-114LG VPZ-152LG
仕様 適用フランジ ICF-34各種 ICF-70各種 ICF-114各種 ICF-152各種
A寸法
(mm)
φ34 φ70 φ114 φ152
PCD寸法
(mm)
27 58.7 92.2 130.3
T寸法
(mm)
12.7 17.4 19.9
鉛ガラス厚
(mm)
5
見積もり

※鉛ガラス盤のみでの取り扱いもございます。別途ご相談下さい。

特徴
  • KODIALガラス(Kodial glass (alkali borosilicate 7056))を使用した観察窓です。
  • 超高真空領域までの使用が可能です。
  • 鉛ガラス盤と組み合わせることで観察窓としてだけでなく、X線からの身体の保護を目的としても使用されます。
  • ガラス材質は通常のKODIALガラスの他に合成石英ガラス、フッ化マグネシウムガラスも承っておりますのでご相談下さい。
  • 耐熱温度は350℃となります。ベーキング時の急激な加熱は避け、毎分2〜3℃以下で加熱するようにご注意下さい。

多種ガラス材質の特徴

概要

ガラス製品に用いられる一般的な材質は、パイレックスガラスですが、様々な用途により、多種ガラス材質を取り扱っております。弊社では、パイレックスガラスの他、合成石英ガラスやサファイアガラスに加え、X線など放射線遮断ガラスとして使用される鉛ガラスも取り揃えております。
また、真空紫外より遠赤外線領域まで優れた透過性を持つ各種光学結晶もご用意可能です。各種分光・分析・放射光の有効利用・レーザー光導入ポートなどの実験装置への使用の際は、用途に応じたガラス材料を選定してください。

光学透過曲線図

光学材料透過領域

窓付プロテクター KPW-70・114・152・203
材質:A5052 表面処理:黒アルマイト

窓付プロテクター
窓付プロテクター
  KPW-70 KPW-114 KPW-152 KPW-203
仕様 適用フランジ VP-70 VP-114 VP-152 VP-203
窓部材質 アクリル樹脂
A寸法(mm) φ82 φ128 φ166 φ217
B寸法(mm) φ46 φ77 φ114 φ164
T寸法(mm) 27 34 37 38
見積もり
この製品は
販売を終了
いたしました。
この製品は
販売を終了
いたしました。
特徴
  • ビューイングポート部への衝撃による破損危険防止の為にビューイングプロテクター等も取り扱っております。
  • 通常の窓付プロテクターとベーカブルタイプ(耐熱用)の2種類を取り扱っております。

ブラインドプロテクター(ベイカブルタイプ) KP-70・114・152・203
材質:A5052 表面処理:黒アルマイト

ブラインドプロテクター(ベイカブルタイプ)
ブラインドプロテクター(ベイカブルタイプ)
  KP-70 KP-114 KP-152 KP-203
仕様 適用フランジ VP-70 VP-114 VP-152 VP-203
A寸法(mm) φ80 φ123 φ160 φ214
B寸法(mm) 13 17 19
T寸法(mm) 5 6
穴数(個) 6 8 16 20
見積もり
特徴
  • ビューイングポート部への衝撃による破損危険防止の為にビューイングプロテクター等も取り扱っております。
  • 通常の窓付プロテクターとベーカブルタイプ(耐熱用)の2種類を取り扱っております。

シャッター機構 KSV-70・114・152・203 材質:SUS304

KSV
KSV
仕様
  KSV-70 KSV-114
仕様 A寸法 158.5 (mm) 175.5 (mm)
B寸法 20 (mm)
C寸法 193.5 (mm) 232.5 (mm)
D寸法 27 (mm) 48 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
ボルト穴径(数) φ6.4 (mm) × 6 φ8.4 (mm) × 8
接続フランジサイズ ICF-70 FH ICF-114 FH
開閉機構 KMMR-34S(特殊)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
  KSV-152 KSV-203
仕様 A寸法 194.5 (mm) 214.5 (mm)
B寸法 20 (mm) 26 (mm)
C寸法 270.5 (mm) 316 (mm)
D寸法 62 (mm) 92 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
ボルト穴径(数) φ8.4 (mm) × 16 φ8.4 (mm) × 20
接続フランジサイズ ICF-152 FH ICF-203 FH
開閉機構 KMMR-34S(特殊)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
特徴
  • シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられています。
  • サイズは、ICF-70・114・152・203となります。
  • 真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです。
  • RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。
  • 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。
  • バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です。
  • 各種ビューイングポートに対応可能です。
  • ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能です。

窓付きエントリーハッチ KVH-114・152・203 材質:SUS304

KVH
KVH
  KVH-114 KVH-152 KVH-203
仕様 A寸法 54 (mm) 59 (mm)
B寸法 35 (mm) 42 (mm) 45 (mm)
C寸法 157 (mm) 198 (mm) 253 (mm)
D寸法 78 (mm) 100 (mm) 122 (mm)
重量 - (kg) - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦7.0×10-9(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 150 (℃)
真空シール部 O-ring/バイトン(4種D)
有効内径 φ62 (mm) φ96 (mm) φ146 (mm)
有効可視径 φ62 (mm) φ96 (mm) φ146 (mm)
ボルト穴径(数) φ8.4 (mm) × 8 φ8.4 (mm) × 16 φ8.4 (mm) × 20
接続フランジサイズ ICF-114 FH ICF-152 FH ICF-203 FH
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード ダウンロード
見積もり
特徴
  • 取り付けは、ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。
  • ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。
  • ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。
  • 覗き窓付き(KVH)とブランク型(KBH)の2種類より選定できます。

ブランク型エントリーハッチ KBH-70・114・152・203 材質:SUS304

KBH
KBH
  KBH-70 KBH-114
仕様 A寸法 37 (mm) 54 (mm)
B寸法 25 (mm) 30 (mm)
C寸法 105 (mm) 157 (mm)
D寸法 25 (mm) 78 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦7.0×10-9(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 150 (℃)
真空シール部 O-ring/バイトン(4種D)
有効内径 φ36 (mm) φ62 (mm)
ボルト穴径(数) φ6.4 (mm) × 6 φ8.4 (mm) × 8
接続フランジサイズ ICF-70 FH ICF-114 FH
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
  KBH-152 KBH-203
仕様 A寸法 60 (mm)
B寸法 36 (mm) 39 (mm)
C寸法 198 (mm) 253 (mm)
D寸法 100 (mm) 122 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦7.0×10-9(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 150 (℃)
真空シール部 O-ring/バイトン(4種D)
有効内径 φ96 (mm) φ146 (mm)
ボルト穴径(数) φ8.4 (mm) × 16 φ8.4 (mm) × 20
接続フランジサイズ ICF-152 FH ICF-203 FH
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
特徴
  • 取り付けは、ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。
  • ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。
  • ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。
  • 覗き窓付き(KVH)とブランク型(KBH)の2種類より選定できます。

ガスケット(ノーマル・Ag・Au) ICF-34CG・70CG・114CG・152CG・203CG・253CG・306CG・356CG・406CG
材質:無酸素銅 表面処理:Agメッキ、Auメッキ

ICF-CG
ガスケット(ノーマル)
  ICF-34CG ICF-70CG ICF-114CG
仕様 適用フランジ ICF-34各種 ICF-70各種 ICF-114各種
A寸法(mm) φ21 φ48 φ82
B寸法(mm) φ16 φ37 φ64
T寸法(mm) 2
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
  ICF-152CG ICF-203CG ICF-253CG
仕様 適用フランジ ICF-152各種 ICF-203各種 ICF-253各種
A寸法(mm) φ120 φ171 φ222
B寸法(mm) φ102 φ153 φ204
T寸法(mm) 2
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
  ICF-306CG ICF-356CG ICF-406CG
仕様 適用フランジ ICF-306各種 ICF-356各種 ICF-406各種
A寸法(mm) φ273 φ313 φ368
B寸法(mm) φ256 φ297 φ351
T寸法(mm) 2
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり

※ Ag・Auコートをご希望の際は、CGの後にAgまたはAuとご記入下さい。
  Agコートガスケットをご希望の場合 例)ICF-34CG-Ag

特徴
  • フランジのシールには、通常銅ガスケット(無酸素銅)を用います。
  • フランジ同士のナイフエッジを食い込ませることで真空シールします。
  • 表面処理として、Agメッキ品とAuメッキ品も取り扱っております。(耐腐食ガス対応)
  • 通常サイズ以外に、有効内径が大きいタイプ(IPDタイプ)も取り扱っております。
  • 頻繁に開閉するポートで熱を加えない場合には、銅ガスケットの代わりにバイトンガスケットの利用も可能です。
  • ICF-34からICF-203サイズまで用意されております。

ガスケット(IPD) ICF-34IPD・70IPD・114IPD・152IPD・203IPD・253IPD
材質:無酸素銅

ICF-IPD
ガスケット(IPD)
  ICF-34IPD ICF-70IPD ICF-114IPD
仕様 適用フランジ ICF-34各種 ICF-70各種 ICF-114各種
A寸法(mm) φ21.3 φ48.1 φ82.4
B寸法(mm) φ18.5 φ43.1 φ78.4
T寸法(mm) 2 2.5
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
  ICF-152IPD ICF-203IPD ICF-253IPD
仕様 適用フランジ ICF-152各種 ICF-203各種 ICF-253各種
A寸法(mm) φ120.5 φ171.2 φ222.1
B寸法(mm) φ116.5 φ167.2 φ218.1
T寸法(mm) 2.5
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
  ICF-306IPD
仕様 適用フランジ ICF-306各種
A寸法(mm) φ272.9
B寸法(mm) φ268.5
T寸法(mm) 3
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
特徴
  • フランジのシールには、通常銅ガスケット(無酸素銅)を用います。
  • フランジ同士のナイフエッジを食い込ませることで真空シールします。
  • 表面処理として、Agメッキ品とAuメッキ品も取り扱っております。(耐腐食ガス対応)
  • 通常サイズ以外に、有効内径が大きいタイプ(IPDタイプ)も取り扱っております。
  • 頻繁に開閉するポートで熱を加えない場合には、銅ガスケットの代わりにバイトンガスケットの利用も可能です。
  • ICF-34からICF-203サイズまで用意されております。

ガスケット(バイトン) ICF-34VG・70VG・114VG・152VG・203VG
材質:バイトン

ICF-VG
ガスケット(バイトン)
仕様
  ICF-34VG ICF-70VG ICF-114VG
仕様 適用フランジ ICF-34用 ICF-70用 ICF-114用
A寸法(mm) φ21 φ47 φ81
B寸法(mm) φ13 φ37 φ64
T寸法(mm) 3
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
  ICF-152VG ICF-203VG
仕様 適用フランジ ICF-152用 ICF-203用
A寸法(mm) φ119 φ171
B寸法(mm) φ102 φ154
T寸法(mm) 3
枚数/1Pac (枚) 5
見積もり
特徴
  • フランジのシールには、通常銅ガスケット(無酸素銅)を用います。
  • フランジ同士のナイフエッジを食い込ませることで真空シールします。
  • 表面処理として、Agメッキ品とAuメッキ品も取り扱っております。(耐腐食ガス対応)
  • 通常サイズ以外に、有効内径が大きいタイプ(IPDタイプ)も取り扱っております。
  • 頻繁に開閉するポートで熱を加えない場合には、銅ガスケットの代わりにバイトンガスケットの利用も可能です。
  • ICF-34からICF-203サイズまで用意されております。

単管 ICF-34-N・70-N・114-N・152-N・203-N・253-N・306-N
材質:SUS304L 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

同径継手類 ICF-単管
同径継手類 ICF-単管
仕様
  ICF-34-N ICF-70-N ICF-114-N
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 80 76 100 126 100 210
B φ16 φ16.61 φ39.4 φ34.85 φ66 φ60.25
C φ19 φ19.05 φ42.7 φ38.1 φ70 φ63.5
見積もり
  ICF-152-N ICF-203-N ICF-253-N
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 150 270 150 334 200 334
B φ108.3 φ98.35 φ146.4 φ148.34 φ197 φ199.14
C φ114.3 φ101.6 φ152.4 φ152.4 φ203 φ203.2
見積もり
  ICF-306-N
KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 200 取り扱いが御座いません
B φ250
C φ256
見積もり

※KITANOについてはA寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • 単管の種類は、ICF-34からICF-306サイズまで取り揃えています。
  • 補助用、延長用継手等に用いられます。
  • KITANOについては内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

T管 ICF-34-T・70-T・114-T・152-T・203-T
2方向回転 材質:SUS304 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

同径継手類 ICF-T管
同径継手類 ICF-T管
仕様
  ICF-34-T ICF-70-T ICF-114-T
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 80 76 120 126 210 210
B φ40 φ38 φ60 φ63 φ105 φ105
C φ16 φ15.8 φ39.4 φ34.85 φ66 φ60.25
D φ19 φ19.05 φ42.7 φ38.1 φ70 φ63.5
見積もり
  ICF-152-T ICF-203-T
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 270 270 330 334
B φ135 φ135 φ165 φ167
C φ108.3 φ98.35 φ146.4 φ148.34
D φ114.3 φ101.6 φ152.4 φ152.4
見積もり

※KITANOについてはA寸法・B寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • T管の種類は、ICF-34からICF-203サイズまで取り揃えています。
  • 3方管ですので、配管用途や真空計の取り付け等に利用されます。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

L管(90°エルボー) ICF-34-L・70-L・114-L・152-L・203-L
KITANO/片側(両側)回転、社外品/両側回転 材質:SUS304
表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

L管(90°エルボー)
L管(90°エルボー)
仕様
  ICF-34-L ICF-70-L ICF-114-L
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 40 38 60 63 105 105
B φ16 φ15.8 φ39.4 φ34.85 φ66 φ60.25
C φ19 φ19.05 φ42.7 φ38.1 φ70 φ63.5
見積もり
  ICF-152-L ICF-203-L
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 135 135 165 167
B φ108.3 φ98.35 φ146.4 φ148.34
C φ114.3 φ101.6 φ152.4 φ152.4
見積もり

※KITANOについてはA寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • L管(90°エルボー)の種類は、ICF-34からICF-203サイズまで取り揃えています。
  • スペースの無い場所や配管用途等に利用されます。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

クロス管 ICF-34-X・70-X・114-X・152-X・203-X
2方向回転 材質:SUS304 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

クロス管
クロス管
仕様
  ICF-34-X ICF-70-X ICF-114-X
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 80 76 120 126 210 210
B φ40 φ38 φ60 φ63 φ105 φ105
C φ16 φ15.8 φ39.4 φ34.85 φ66 φ60.25
D φ19 φ19.05 φ42.7 φ38.1 φ70 φ63.5
見積もり
  ICF-152-X ICF-203-X
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 270 270 330 334
B φ135 φ135 φ165 φ167
C φ108.3 φ98.35 φ146.4 φ148.34
D φ114.3 φ101.6 φ152.4 φ152.4
見積もり

※KITANOについてはA寸法・B寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • クロス管の種類は、ICF-34からICF-203サイズまで取り揃えています。
  • 4方管ですので、配管用途や真空計の取り付け等多種用途に利用されます。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

六方管 ICF-34-6W・70-6W・114-6W・152-6W・203-6W
3方向回転 材質:SUS304L 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

同径継手類 ICF-六方管
同径継手類 ICF-六方管
仕様
  ICF-34-6W ICF-70-6W ICF-114-6W
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 80 76 120 126 210 210
B φ40 φ38 φ60 φ63 φ105 φ105
C φ16 φ15.8 φ39.4 φ34.85 φ66 φ60.25
D φ19 φ19.05 φ42.7 φ38.1 φ70 φ63.5
見積もり
  ICF-152-6W ICF-203-6W
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 270 270 330 334
B φ135 φ135 φ165 φ167
C φ108.3 φ98.35 φ146.4 φ148.34
D φ114.3 φ101.6 φ152.4 φ152.4
見積もり

※KITANOについてはA寸法・B寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • 六方管の種類は、ICF-34からICF-203サイズまで取り揃えています。
  • 六方向にパイプが出ていますので、多機能な用途に利用されます。
  • ロードロック室用チャンバー等に用いられます。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

キューブ ICF-70 Cube・ICF-114 Cube
材質:SUS304 表面処理:バフ研磨(内面のみ)

同径継手類 ICF-キューブ
同径継手類 ICF-キューブ(角無)
同径継手類 ICF-キューブ(角無)
仕様
  ICF-70 Cube ICF-114 Cube
仕様 適応フランジ ICF-70FH(RH) ICF-114FH(RH)
W寸法(mm) 70 114
H寸法(mm) 70 114
D寸法(mm) 70 114
有効内径(mm) φ39 φ70
見積もり

※上記図面より、角部面カットをご指定の場合は型式の後に"-R"をお付け下さい。例:ICF-70 Cube-R

特徴
  • キューブの種類は、ICF-70とICF-114サイズを取り揃えています。
  • 有効内径がφ39となり、真空容器内を広く利用できます。
  • 各サイズ共に面カットの有無をご指定下さい。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

変換継手(ICF→ICF)
片側回転 材質:SUS304L 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

変換継手(ICF→ICF)
変換継手(ICF→ICF)
仕様
  ICF-34RH/
ICF-70FH
ICF-34RH/
ICF-114FH
ICF-34RH/
ICF-152FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 100 70 100 70 100 -
B φ16   φ16   φ16 -
C φ19 φ19 φ19 φ19 φ19 -
見積もり
取り扱いが御座いません
  ICF-34RH/
ICF-203FH
ICF-34RH/
ICF-253FH
ICF-70RH/
ICF-114FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 100 - 100 - 100 70
B φ16 - φ16 - φ39.4  
C φ19 - φ19 - φ42.7 φ38
見積もり
取り扱いが御座いません
取り扱いが御座いません
  ICF-70RH/
ICF-152FH
ICF-70RH/
ICF-203FH
ICF-70RH/
ICF-253FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 100 70 100 70 100 127
B φ39.4   φ39.4   φ39.4  
C φ42.7 φ38 φ42.7 φ38 φ42.7 φ38
見積もり
  ICF-114RH/
ICF-152FH
ICF-114RH/
ICF-203FH
ICF-114RH/
ICF-253FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 100 70 100 127 100 127
B φ66   φ66   φ66  
C φ70 φ64 φ70 φ64 φ70 φ64
見積もり
  ICF-152RH/ICF-203FH ICF-152RH/ICF-253FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 150 127 150 127
B φ108.3   φ108.3  
C φ114.3 φ102 φ114.3 φ102
見積もり
  ICF-203RH/ICF-253FH ICF-203RH/ICF-306FH
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 150 127 150 -
B φ146.4   φ146.4 -
C φ152.4 φ152 φ152.4 -
見積もり
取り扱いが御座いません

※KITANOについてはA寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • 変換継手の種類は、ICF-34からICF-306まで組み合わせが可能です。
  • 異径の変換継手として、配管継手や導入機等を取り付ける用途に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

変換継手(ICF→KF(NW))
材質:SUS 表面処理:<KITANO/バフ研磨><社外品/荒バフ研磨>

変換継手(ICF→KF(NW))
変換継手(ICF→KF(NW))
仕様
  ICF-34FH/
NW10KF
ICF-34FH/
NW16KF
ICF-70FH/
NW10KF
KITANO
(SUS304)
社外品
(SUS316L)
KITANO
(SUS304)
社外品
(SUS316L)
KITANO
(SUS304)
社外品
(SUS316L)
寸法
(mm)
A 35 36 35 36 38 36
B φ10 φ10 φ14 φ17 φ10 φ10
C φ13.8 φ14 φ17.3 φ20 φ13.8 φ14
見積もり
  ICF-70FH/
NW16KF
ICF-70FH/
NW25KF
ICF-70FH/
NW40KF
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 38 36 38 36 38 50
B φ17.5 φ17 φ24 φ25 φ37.1 φ40.5
C φ21.7 φ20 φ27.2 φ28 φ42.7 φ44.5
見積もり
  ICF-114FH/
NW16KF
ICF-114FH/
NW25KF
ICF-114FH/
NW40KF
KITANO 社外品 KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 41 - 41 50 41 50
B φ17.5 - φ24 φ25 φ37.1 φ40.5
C φ21.7 - φ27.2 φ28 φ42.7 φ44.5
見積もり
取り扱いが
御座いません
  ICF-114FH/NW50KF ICF-152FH/NW25KF
KITANO 社外品 KITANO 社外品
寸法
(mm)
A 41 50 42 50
B φ54.9 φ50 φ24 φ25
C φ60.5 φ54 φ27.2 φ28
見積もり
  ICF-152FH/NW40KF ICF-152FH/NW50KF
KITANO 社外品 KITANO 社外品
(SUS316L)
寸法
(mm)
A 42 50 42 50
B φ37.1 φ40.5 φ54.9 φ50
C φ42.7 φ44.5 φ60.5 φ54
見積もり

※KITANOについてはA寸法は自由に指定いただけます。

特徴
  • 変換継手の種類は、ICF-34〜ICF-152とNW10KF〜NW50KFの組み合わせが可能です。
  • 異種規格の変換継手として、配管用途や真空計の取り付け等多種用途に利用されます。
  • 内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

変換継手(ICF→JIS) 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

変換継手(ICF→JIS)
変換継手(ICF→JIS)
仕様
  ICF-34RH/
VF10
ICF-34RH/
VF20
ICF-34RH/
VF25
ICF-34RH/
VF40
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ14 φ16
C寸法(mm) φ17.3 φ19
見積もり
  ICF-70RH/
VF25
ICF-70RH/
VF40
ICF-70RH/
VF50
ICF-70RH/
VF65
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ30.7 φ39.4
C寸法(mm) φ34 φ42.7
見積もり
  ICF-114RH/
VF50
ICF-114RH/
VF65
ICF-114RH/
VF80
ICF-114RH/
VF100
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ56.5 φ66
C寸法(mm) φ60.5 φ70
見積もり
  ICF-152RH/
VF80
ICF-152RH/
VF100
ICF-152RH/
VF125
ICF-152RH/
VF150
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ83.1 φ108.3
C寸法(mm) φ89.1 φ114.3
見積もり
特徴
  • 変換継手の種類は、ICF-34〜ICF-152とVF10〜VF150の組み合わせが可能です。
  • 異種規格の変換継手として、配管用途や各種部品の取り付け、真空容器の接続等多種用途に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っております。

両面エッジフランジ 材質:SUS304L

両面エッジフランジ
両面エッジフランジ
  ICF-34FH/W ICF-70FH/W ICF-114FH/W ICF-152FH/W
仕様 A寸法(mm) φ34 φ70 φ114 φ152
B寸法(mm) φ14 φ38 φ63 φ100
PCD寸法(mm) 27 58.7 92.2 130.3
T寸法(mm) 7.6 12.7 17.4 19.9
見積もり
  ICF-203FH/W ICF-253FH/W ICF-306FH/W
仕様 A寸法(mm) φ203 φ253 φ306
B寸法(mm) φ150 φ205 φ257
PCD寸法(mm) 181.8 231.9 284
T寸法(mm) 22.3 25 28.6
見積もり
特徴
  • 両面エッジ変換フランジの種類は、ICF-34からICF-306まで取り揃えています。
  • 異径のゼロレングスの変換継手として、配管継手や導入機等を取り付ける用途に利用されます。
  • 表面処理も用途に合わせて承っております。

両面エッジ変換フランジ 材質:SUS304L

両面エッジ変換フランジ
両面エッジ変換フランジ
  ICF-34FT/
ICF-70FH/W
ICF-34FT/
ICF-114FH/W
ICF-70FT/
ICF-114FH/W
ICF-70FT/
ICF-152FH/W
仕様 A寸法(mm) φ70 φ114 φ152
B寸法(mm) φ13.2 φ36.9
PCD寸法(1)
(mm)
58.7 92.2 130.3
PCD寸法(2)
(mm)
27 58.7
T寸法(mm) 13 18 21
見積もり
  ICF-70FT/
ICF-203FH/W
ICF-70FT/
ICF-253FH/W
ICF-114FT/
ICF-152FH/W
ICF-114FT/
ICF-203FH/W
仕様 A寸法(mm) φ203 φ253 φ152 φ203
B寸法(mm) φ36.9 φ61.2
PCD寸法(1)
(mm)
181.1 231.9 130.3 181.1
PCD寸法(2)
(mm)
58.7 92.2
T寸法(mm) 22 25 21 22
見積もり
  ICF-114FT/
ICF-253FH/W
ICF-152FT/
ICF-203FH/W
ICF-152FT/
ICF-253FH/W
ICF-203FT/
ICF-253FH/W
仕様 A寸法(mm) φ253 φ203 φ253
B寸法(mm) φ61.2 φ99.4 φ149.7
PCD寸法(1)
(mm)
231.9 181.1 231.9
PCD寸法(2)
(mm)
92.2 130.3 181.1
T寸法(mm) 25 22 25
見積もり
  ICF-203FT/
ICF-306FH/W
ICF-253FT/
ICF-306FH/W
仕様 A寸法(mm) φ306
B寸法(mm) φ149.7 φ205
PCD寸法(1)
(mm)
284
PCD寸法(2)
(mm)
181.1 231.9
T寸法(mm) 28
見積もり
特徴
  • 両面エッジ変換フランジの種類は、ICF-34からICF-306まで取り揃えています。
  • 異径のゼロレングスの変換継手として、配管継手や導入機等を取り付ける用途に利用されます。
  • 表面処理も用途に合わせて承っております。

ベロージョイント KBJ-34・70・114・152 材質:SUS304

ベロージョイント
ベロージョイント
仕様
  KBJ-34 KBJ-70
仕様 A寸法 100±10 (mm) 100±15 (mm)
B寸法 φ30 (mm) φ51 (mm)
C寸法 29 (mm) 54 (mm)
寸切りボルト径 M5 × 3 (本) M6 × 3 (本)
重量 0.4 (kg) 1.0 (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
移動距離 ± 10 (mm) ± 15 (mm)
有効傾斜角度 最大 6 (°)
有効内径 φ16 (mm) φ36 (mm)
接続フランジサイズ ICF-34 FH ICF-70 FH
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
  KBJ-114 KBJ-152
仕様 A寸法 100±15 (mm) 120±15 (mm)
B寸法 φ70 (mm) φ120 (mm)
C寸法 77 (mm) 96 (mm)
寸切りボルト径 M8 × 3 (本)
重量 2.9 (kg) 5.8 (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
移動距離 ± 15 (mm)
有効傾斜角度 最大 9 (°)30
有効内径 φ50 (mm) φ90 (mm)
接続フランジサイズ ICF-114 FH ICF-152 FH
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
見積もり
特徴
  • フィードスルー等の角度、ロングシャフトのダレや軸出し微調整に最適です。
  • 超高真空領域までの使用が可能です。
  • ICF規格ですので、お手持ちのフィードスルー等がご利用できます。

フレキシブルチューブ KFT-34・70・114 材質:SUS304

フレキシブルチューブ(ICF)
フレキシブルチューブ(ICF)
仕様
  KFT-34
仕様 フランジ ICF-34FH
A寸法(mm) 250 500 750
B寸法(mm) φ12.7
C寸法(mm) φ17.7
仕様 フランジ ICF-34FH
A寸法(mm) 1000 1500 2000
B寸法(mm) φ12.7
C寸法(mm) φ17.7
見積もり
  KFT-70
仕様 フランジ ICF-70FH
A寸法(mm) 250 500 750
B寸法(mm) φ26
C寸法(mm) φ37
仕様 フランジ ICF-70FH
A寸法(mm) 1000 1500 2000
B寸法(mm) φ26
C寸法(mm) φ37
見積もり
  KFT-114
仕様 フランジ ICF-114FH
A寸法(mm) 250 500 750
B寸法(mm) φ40
C寸法(mm) φ56
仕様 フランジ ICF-70FH
A寸法(mm) 1000 1500 2000
B寸法(mm) φ40
C寸法(mm) φ56
見積もり
特徴
  • フレキシブルチューブの種類は、接続継手がICF-34からICF-114まで取り揃えています。
  • 配管系統の接続に使用されます。
  • A寸法変更も用途に合わせて承っております。
ボルト ・ ナット
特徴
  • 各フランジの取り付けに使用するボルト・ナットを全て取り揃えております。
  • 各種単品にて販売も可能です。
  • その他のサイズも承っておりますのでご相談下さい。
ICFフランジ対応使用ボルト及び締付けトルク一覧
フランジ ICF-34 ICF-70 ICF-114
規格 FH RH FT FH RH FT FH RH FT
形状 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ
使用ボルト M4X22L M4X14L M6X35L M6X20L M8X50L M8X30L
使用数 6 8
締付けトルク
(Kg・m)
20〜30 70〜100 100〜150
締付けトルク
(N・m)
2〜3 7〜10 10〜15
締付け回数 3
目安トルク
(Kg・m)
10・20・30 50・70・100 50・100・150
目安トルク
(N・m)
1・2・3 5・7・10 5・10・15
見積もり
フランジ ICF-152 ICF-203 ICF-253
規格 FH RH FT FH RH FT FH RH FT
形状 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ
使用ボルト M8X55L M8X35L M8X55L M8X35L M8X65L M8X40L
使用数 16 20 24
締付けトルク
(Kg・m)
100〜150
締付けトルク
(N・m)
10〜15
締付け回数 3
目安トルク
(Kg・m)
50・100・150
目安トルク
(N・m)
5・10・15
見積もり
フランジ ICF-306 ICF-356 ICF-406
規格 FH RH FT FH RH FT FH RH FT
形状 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ 固定 回転 タップ
使用ボルト M8X70L M8X50L M10X70L M10X50L M10X70L M10X50L
使用数 *32
締付けトルク
(Kg・m)
100〜150 200〜250
締付けトルク
(N・m)
10〜15 20〜25
締付け回数 3 4
目安トルク
(Kg・m)
50・100・150 60・120・180・240
目安トルク
(N・m)
5・10・15 6・12・18・24
見積もり

* 印はフランジメーカーにより穴数が違う為、注意してください。
* スプリングワッシャーをご使用の場合は、ボルトの長さに5〜10mm足したサイズをお勧めいたします。

注意
(注1)
ボルトには必ずモリコートをネジ部に塗布してください。
(注2)
フランジの外周(A)を揃えて閉めてください。
(注3)
フランジ間の隙間は、ベーキング終了後の増し締めの為に少し開けて置いてください。
(注4)
締付けトルクを表示してありますがあくまで目安でありますので注意してください。
(注5)
ガスケットの材料によって締付けトルクが違うケースがありますので注意してください。
フランジの締付け方法
1.
番号を入れる。ボルト数が6・8の場合は2で割り、それ以外の場合は4で割った数字を入れる。
※左図の場合は、1〜4まで記載する
2.
角線上の同じ番号を閉めていく(ボルト数が4で割れる数字の場合は、十字の形で締付けることになります)。
3.
トルクを変えて締付け回数に従い、2を繰り返す(目安トルクを参照のこと)。
※最後はフランジ間の隙間を確認してください
4.
1周回りながら、最後のトルクで締付ける。

商品別|真空部品

ICF規格品
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