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真空部品

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JIS規格品

JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空容器や配管継手類等に使用されています。JISフランジにはOリング溝が有るもの(VG)と無いもの(VF)との2種類があり、相手フランジによって使い分けます。フランジのシールには、バイトンOリング(Vシリーズ)を使用しますので、ベーキングは140℃以下にて行います。通常のJISフランジの他に、タップ穴やフランジの厚みの違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。

JISフランジ(VF) 材質:SUS304

JISフランジ(VF)
JISフランジ(VF)
  VF10 VF20 VF25 VF40
仕様 A寸法(mm) φ70 φ80 φ90 φ105
P.C.D寸法(mm) φ50 φ60 φ70 φ85
T寸法(mm) 8 10
穴数(穴) 4
穴径(mm) φ10
見積もり
  VF50 VF65 VF80 VF100
仕様 A寸法(mm) φ120 φ145 φ160 φ185
P.C.D寸法(mm) φ100 φ120 φ135 φ160
T寸法(mm) 10 12
穴数(穴) 4 8
穴径(mm) φ10 φ12
見積もり
  VF125 VF150 VF200 VF250
仕様 A寸法(mm) φ210 φ235 φ300 φ350
P.C.D寸法(mm) φ185 φ210 φ270 φ320
T寸法(mm) 12 16
穴数(穴) 8 12
穴径(mm) φ12 φ15
見積もり
  VF300 VF350
仕様 A寸法(mm) φ400 φ450
P.C.D寸法(mm) φ370 φ420
T寸法(mm) 16 20
穴数(穴) 12
穴径(mm) φ15
見積もり
特徴
  • フランジの材質は通常SUS304で、呼び径10から100まで標準在庫しております。
  • 最大350Aまでの対応が可能です。

JISフランジ(VG) 材質:SUS304

JISフランジ(VG)
JISフランジ(VG)
  VG10 VG20 VG25 VG40
仕様 A寸法(mm) φ70 φ80 φ90 φ105
B寸法(mm) φ34 φ44 φ50 φ65
C寸法(mm) φ24 φ34 φ40 φ55
D寸法(mm) 3
P.C.D寸法(mm) φ50 φ60 φ70 φ85
T寸法(mm) 8 10
ボルト穴数(穴) 4
ボルト穴径(mm) φ10
見積もり
  VG50 VG65 VG80 VG100
仕様 A寸法(mm) φ120 φ145 φ160 φ185
B寸法(mm) φ80 φ95 φ110 φ130
C寸法(mm) φ70 φ85 φ100 φ120
D寸法(mm) 3
P.C.D寸法(mm) φ100 φ120 φ135 φ160
T寸法(mm) 10 12
ボルト穴数(穴) 4 8
ボルト穴径(mm) φ10 φ12
見積もり
  VG125 VG150 VG200 VG250
仕様 A寸法(mm) φ210 φ235 φ300 φ350
B寸法(mm) φ160 φ185 φ241 φ291
C寸法(mm) φ150 φ175 φ225 φ275
D寸法(mm) 3 4.5
P.C.D寸法(mm) φ185 φ210 φ270 φ320
T寸法(mm) 12 16
ボルト穴数(穴) 8 12
ボルト穴径(mm) φ12 φ15
見積もり
  VG300 VG350
仕様 A寸法(mm) φ400 φ450
B寸法(mm) φ341 φ396
C寸法(mm) φ325 φ380
D寸法(mm) 4.5
P.C.D寸法(mm) φ370 φ420
T寸法(mm) 16 20
ボルト穴数(穴) 12
ボルト穴径(mm) φ15
見積もり
特徴
  • フランジの材質は通常SUS304で、呼び径10から100まで標準在庫しております。
  • 最大350Aまでの対応が可能です。

ビューイングポート付フランジ
VF-25VP・VF-40VP・VF-50VP・VF-65VP・VF-80VP・VF-100VP

ビューイングポート
ビューイングポート付フランジ
使用例
ビューイングポート付フランジ
仕様
  VF-25VP VF-40VP VF-50VP
仕様 A寸法(mm) Φ90 Φ105 Φ120
B寸法(mm) Φ55 Φ70 Φ85
C寸法(mm)
(有効可視径)
Φ32 Φ46 Φ58
D寸法(mm) 11
E寸法(mm)
(ガラス厚み)
8
見積もり
  VF-65VP VF-80VP VF-100VP
仕様 A寸法(mm) Φ145 Φ160 Φ185
B寸法(mm) Φ100 Φ115 Φ135
C寸法(mm)
(有効可視径)
Φ74 Φ87 Φ112
D寸法(mm) 14
E寸法(mm)
(ガラス厚み)
10 12
見積もり
特徴
  • JIS規格のVG(溝あり)フランジへ取り付ける観察窓となります。
  • 相手フランジがVF(溝なし)フランジである場合は、『ビューイングポート用変換フランジ』を用いて取り付けを行います。
  • 通常ガラスはパイレックスですが、石英ガラスやサファイア、鉛ガラス等の仕様も取り扱っております。
  • 表記以外のサイズでも承っておりますのでご相談下さい。

ビューイングポート用変換フランジ
VG-25VPN・VG-40VPN・VG-50VPN・VG-65VPN・VG-80VPN・VG-100VPN

ビューイングポート
ビューイングポート用変換フランジ
使用例
ビューイングポート用変換フランジ
仕様
  VG-25VPN VG-40VPN VG-50VPN
仕様 A寸法(mm) Φ90 Φ105 Φ120
B寸法(mm) Φ32 Φ46 Φ58
C寸法(mm) 8 10
見積もり
  VG-65VPN VG-80VPN VG-100VPN
仕様 A寸法(mm) Φ145 Φ160 Φ185
B寸法(mm) Φ74 Φ87 Φ112
C寸法(mm) 10 12
見積もり
特徴
  • JIS規格のVG(溝あり)フランジへ取り付ける観察窓となります。
  • 相手フランジがVF(溝なし)フランジである場合は、『ビューイングポート用変換フランジ』を用いて取り付けを行います。
  • 通常ガラスはパイレックスですが、石英ガラスやサファイア、鉛ガラス等の仕様も取り扱っております。
  • 表記以外のサイズでも承っておりますのでご相談下さい。

JISフランジ用Oリング 材質:バイトン

JISフランジ用Oリング
JISフランジ用Oリング
  V-24 V-34 V-40 V-55
仕様 適用フランジ VG10用 VG20用 VG25用 VG40用
A寸法(mm) φ23.5 φ33.5 φ39.5 φ54.5
T寸法(mm) 4
見積もり
  V-70 V-85 V-100 V-120
仕様 適用フランジ VG50用 VG65用 VG80用 VG100用
A寸法(mm) φ69 φ84 φ99 φ119
T寸法(mm) 4
見積もり
  V-150 V-175 V-225 V-275
仕様 適用フランジ VG125用 VG150用 VG200用 VG250用
A寸法(mm) φ148.5 φ173 φ222.5 φ272
T寸法(mm) 4 6
見積もり
  V-325 V-380
仕様 適用フランジ VG300用 VG350用
A寸法(mm) φ321.5 φ376
T寸法(mm) 6 6
見積もり
特徴
  • JISフランジ用Oリングの種類は、VG10からVG350サイズのフランジまで取り揃えています。
  • Oリングの部分が耐腐食性など用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

単管 VF-10-N・VF-20-N・VF-25-N・VF-40-N・VF-50-N・VF-65-N・VF-80-N・VF-100-N
材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

JIS-単管
JIS-単管
  VF-10-N VF-20-N VF-25-N VF-40-N
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7 φ44.6
C寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34 φ48.6
見積もり
  VF-50-N VF-65-N VF-80-N VF-100-N
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ56.5 φ70.3 φ83.1 φ108.3
C寸法(mm) φ60.5 φ76.3 φ89.1 φ114.3
見積もり
特徴
  • 単管の種類は、VF10からVF100サイズまで取り揃えています。
  • 補助用、延長用継手等に用いられます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

T管 VF-10-T・VF-20-T・VF-25-T・VF-40-T・VF-50-T
材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

JIS-T管
JIS-T管
  VF-10-T VF-20-T VF-25-T
仕様 A寸法(mm) 110 120 130
B寸法(mm) 55 60 65
C寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7
D寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34
見積もり
  VF-40-T VF-50-T
仕様 A寸法(mm) 140 160
B寸法(mm) 70 80
C寸法(mm) φ44.6 φ56.5
D寸法(mm) φ48.6 φ60.5
見積もり
特徴
  • T管の種類は、VF10からVF50サイズまで取り揃えています。
  • 3方管ですので、配管用途や真空計の取り付け等に利用されます。
  • A及びB寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

L管(90°エルボー) VF-10-L・VF-20-L・VF-25-L・VF-40-L・VF-50-L
材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

L管(90°エルボー)
L管(90°エルボー)
  VF-10-L VF-20-L VF-25-L
仕様 A寸法(mm) 55 60 65
B寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7
C寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34
見積もり
  VF-40-L VF-50-L
仕様 A寸法(mm) 70 80
B寸法(mm) φ44.6 φ56.5
C寸法(mm) φ48.6 φ60.5
見積もり
特徴
  • L管(90°エルボー)の種類は、VF10からVF50サイズまで取り揃えています。
  • スペースの無い場所や配管用途等に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

クロス管 VF-10-X・NW16KF-X・VF-20-X・VF-25-X・VF-40-X
材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

クロス管
クロス管
  VF-10-X VF-20-X VF-25-X
仕様 A寸法(mm) 110 120 130
B寸法(mm) 55 60 65
C寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7
D寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34
見積もり
  VF-40-X VF-50-X
仕様 A寸法(mm) 140 160
B寸法(mm) 70 80
C寸法(mm) φ44.6 φ56.5
D寸法(mm) φ48.6 φ60.5
見積もり
特徴
  • クロス管の種類は、VF10からVF50サイズまで取り揃えています。
  • 4方管ですので、配管用途や真空計の取り付け等多種用途に利用されます。
  • A及びB寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

六方管 VF-10-6W・VF-20-6W・VF-25-6W・VF-40-6W
材質:SUS304L 表面処理:バフ研磨

JIS-六方管
JIS-VF六方管
JIS-VG六方管
仕様
  VF-10-6W VF-20-6W VF-25-6W
仕様 A寸法(mm) 110 120 130
B寸法(mm) 55 60 65
C寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7
D寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34
見積もり
  VF-40-6W VF-50-6W
仕様 A寸法(mm) 140 160
B寸法(mm) 70 80
C寸法(mm) φ44.6 φ56.5
D寸法(mm) φ48.6 φ60.5
見積もり
特徴
  • 六方管の種類は、VF10からVF50サイズまで取り揃えています。
  • 六方向にパイプが出ていますので、多機能な用途に利用されます。
  • ロードロック室用チャンバー等に用いられます。
  • A及びB寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

変換継手(JIS→JIS) 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

変換継手(JIS→JIS)
変換継手(JIS→JIS)
  VF10/VF20 VF10/VF25 VF20/VF25 VF25/VF40
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ14 φ23.9 φ30.7
C寸法(mm) φ17.3 φ27.2 φ34
見積もり
  VF25/VF50 VF40/VF50 VF40/VF65 VF40/VF80
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ30.7 φ44.6
C寸法(mm) φ34 φ48.6
見積もり
  VF50/VF65 VF50/VF80 VF80/VF100
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ56.5 φ83.1
C寸法(mm) φ60.5 φ89.1
見積もり
特徴
  • 変換継手の種類は、VF10からVF100まで組み合わせが可能です。
  • 異径の変換継手として、配管継手や導入機等を取り付ける用途に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

変換継手(JIS→ICF) 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

変換継手(JIS→ICF)
変換継手(JIS→ICF)
仕様
  ICF-34RH/
VF10
ICF-34RH/
VF20
ICF-34RH/
VF25
ICF-34RH/
VF40
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ14 φ16
C寸法(mm) φ17.3 φ19
見積もり
  ICF-70RH/
VF25
ICF-70RH/
VF40
ICF-70RH/
VF50
ICF-70RH/
VF65
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ30.7 φ39.4
C寸法(mm) φ34 φ42.7
見積もり
  ICF-114RH/
VF50
ICF-114RH/
VF65
ICF-114RH/
VF80
ICF-114RH/
VF100
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ56.5 φ66
C寸法(mm) φ60.5 φ70
見積もり
  ICF-152RH/
VF80
ICF-152RH/
VF100
ICF-152RH/
VF125
ICF-152RH/
VF150
仕様 A寸法(mm) 100
B寸法(mm) φ83.1 φ108.3
C寸法(mm) φ89.1 φ114.3
見積もり
特徴
  • 変換継手の種類は、VF10〜VF150とICF-34〜ICF-152の組み合わせが可能です。
  • 異種規格の変換継手として、配管用途や真空計の取り付け等多種用途に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

変換継手(JIS→KF(NW)) 材質:SUS304 表面処理:バフ研磨

変換継手(JIS→KF(NW))
変換継手(JIS→KF(NW))
仕様
  VF50/
NW10KF
VG50/
NW10KF
VF65/
NW16KF
VG65/
NW16KF
仕様 A寸法(mm) 35 35
B寸法(mm) φ10 φ17.5
C寸法(mm) φ13.8 φ21.7
見積もり
  VF80/
NW25KF
VG80/
NW25KF
VF100/
NW40KF
VG100/
NW40KF
仕様 A寸法(mm) 36 36
B寸法(mm) φ23 φ37.1
C寸法(mm) φ27.2 φ42.7
見積もり
  VF125/NW50KF VG125/NW50KF
仕様 A寸法(mm) 36
B寸法(mm) φ47.5
C寸法(mm) φ50.8
見積もり
特徴
  • 変換継手の種類は、VF50〜VF125 (VG50〜VG125)とNW10KF〜NW50KFの組み合わせが可能です。
  • 異種規格の変換継手として、配管用途や真空計の取り付け等多種用途に利用されます。
  • A寸法変更や内面の表面処理も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。

フレキシブルチューブ KFT-20VF・25VF・40VF・50VF 材質:SUS304

フレキシブルチューブ
フレキシブルチューブ
仕様
  KTF-20VF
仕様 適応フランジ VF20
A寸法(mm) 500 1000 1500 2000
B寸法(mm) 20.4
C寸法(mm) 30.5
見積もり
  KTF-25VF
仕様 適応フランジ VF25
A寸法(mm) 500 1000 1500 2000
B寸法(mm) 26
C寸法(mm) 36
見積もり
  KTF-40VF
仕様 適応フランジ VF40
A寸法(mm) 500 1000 1500 2000
B寸法(mm) 40
C寸法(mm) 55
見積もり
  KTF-50VF
仕様 適応フランジ VF50
A寸法(mm) 500 1000 1500 2000
B寸法(mm) 54
C寸法(mm) 70
見積もり
特徴
  • フレキシブルチューブの種類は、接続継手がVF20〜VF50まで取り揃えています。
  • 配管系統の接続に使用されます。
  • A寸法変更も用途に合わせて承っておりますのでご相談下さい。
ボルト ・ ナット
特徴
  • 各フランジの取り付けに使用するボルト・ナットを全て取り揃えております。
  • 各種単品にて販売も可能です。
  • その他のサイズも承っておりますのでご相談下さい。
JISフランジ対応使用ボルト一覧
フランジ 形状 使用ボルト(径ー長さ) 穴数(本数)
VF/VG-10 固定 M8-25 4
タップ M8-20
VF/VG-20 固定 M8-25 4
タップ M8-20
VF/VG-25 固定 M8-25 4
タップ M8-20
VF/VG-40 固定 M8-30 4
タップ M8-25
VF/VG-50 固定 M8-30 4
タップ M8-25
VF/VG-65 固定 M10-35 4
タップ M10-25
VF/VG-80 固定 M10-40 4
タップ M10-30
VF/VG-100 固定 M10-40 8
タップ M10-30
VF/VG-125 固定 M10-40 8
タップ M10-30
VF/VG-150 固定 M10-40 8
タップ M10-30
VF/VG-200 固定 M12-45 8
タップ M12-35
VF/VG-250 固定 M12-45 12
タップ M12-35
VF/VG-300 固定 M12-45 12
タップ M12-35
VF/VG-350 固定 M12-50 12
タップ M12-40
見積もり

※VF型フランジはOリング溝が“ない”ものを指します。
※VG型フランジはOリング溝が“ある”ものを指します。

フランジの締付け方法
1.
番号を入れる。ボルト数を2で割った数字を入れる。
※上図の場合は、1・2と記載する。
2.
対角線上にある同じ番号のボルトを順番に閉めていく。
3.
最後の締付け時は時計回りに1周し、同程度のトルクで締付ける。
※最後はフランジ間の隙間を確認してください。
注意
(注1)
ボルトには必ず焼付き防止剤をネジ部に塗布してから締めるようにしてください。
(注2)
フランジの外周(A)を揃えて閉めてください。
(注3)
フランジ間の隙間は、ベーキング終了後の増し締めの為に少し開けて置いてください。

商品別|真空部品

JIS規格品