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有機蒸着セル　KOD-Cell II(4cc／10cc)

図面拡大 接続フランジからの寸法を御指示下さい（標準長：140mm）

仕様

		KOD-Cell II
仕様	ルツボ容量	4cc／10cc
	接続フランジ	ICF-70FH
	ヒーター	シース型
	最大動作安定温度	500℃
	加熱制御温度	100℃〜500℃
	温度安定性	±0.2℃
	熱電対	K型（C/A）
	ルツボ材質	シェイパル、高密度カーボン、アルミナ
	シャッター機構	手動式／圧空式
	蒸着レート	0.01Å/sが容易に制御可能 （Cygnus（Inficon社）を推奨）
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見積もり

特徴

• ルツボは、4ccで、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
• 厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
• シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
• シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です。
• 非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です。
• 接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です。
• 洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です。

用途

• 高蒸気圧材料薄膜の成長
• 有機物薄膜の成長
• 金属薄膜の成長（低温蒸着用）

※ その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

有機蒸着セル　KOD-Cell

図面拡大 L寸法、御指定下さい （標準長：150mm）

仕様

		KOD-Cell
仕様	ルツボ容量	1cc
	接続フランジ	ICF-70FH
	ヒーター	シース型
	最高動作安定温度	500℃
	加熱制御温度	100℃〜500℃
	温度安定性	±0.2℃
	熱電対	K型（C/A）
	ルツボ材質	シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス
	冷却方式	水冷ジャケット付（SUS 1/4“管）
	シャッター機構	手動式／圧空式
	面内分布	2インチ内にて下記の分布を保証致します。 有機膜：±2.5% ※上記数値は、基板面内回転時となります。
	材料効率	1ccのルツボにて、下記の有機材料成膜を保障致します。 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで 50nmの成膜を5回以上可能
	蒸着レート	0.01Å/sが容易に制御可能 （Inficon社製膜厚計：Cygnusを推奨）
	TS間距離	基板から蒸着源までの推奨長は、250mmです。
	蒸着特性	低レート制御における蒸着特性
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見積もり

特徴

• ルツボは、1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
• 厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
• シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
• シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です。
• 非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です。
• 接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です。
• 洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です。

用途

• 高蒸気圧材料薄膜の成長
• 有機薄膜の成長
• 金属薄膜の成長（低温蒸着用）

※ その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

特性

• 有機蒸着セル KOD-Cell　温度特性
• 低レート制御における蒸着特性

有機蒸着セル用電源　KTC-15A（代替機）

本電源は、弊社有機蒸着セル“KODシリーズ”対応の小型交流電源となります。電源制御は、SCR（サイリスター）による位相制御とし、電源電圧は100V仕様となります。

仕様

特徴

• 電源電圧100V/200Vに対応
• 電流容量が15Aまで対応
• 信号出力端子2系統
• 簡易プログラムでの温度制御可能
• 専用ソフトでロギングが可能
• ヒューズが外部から交換可能
• 取っ手がついて持ち運びに便利 
• 従来品に比べ軽量化 

廃盤（販売中止）

金属蒸着セル　KMD-Cell

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仕様

		KMD-Cell
仕様	ルツボ容量	10cc
	接続フランジ	ICF-70FH
	常用加熱温度	1200℃
	最高加熱温度	1400℃
	ルツボ材質	PBN、シェイパル
	熱電対	W 5%／WRe 26%
	ヒーター	Ta (Tantalum)
	熱シールド	Ta 多層シールド方法
	シャッター機構	オプション（接続フランジがICF-114となります）
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特徴

• コンパクトで手軽に使用可能
• ルツボ容量は10cc、幅広い用途
• 均一なルツボ温度
• メンテナンスが容易
• 温度安定性・操作性の優れている

応用蒸発材料

• Si (Silicon)
• Ga (Gallium)
• Al (Aluminum)
• In (Indium) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

1元蒸着簡易セル　KMDS-Cell

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仕様

		KMDS-Cell
仕様	ルツボ容量	1〜3cc
	接続フランジ	ICF-114FH
	ルツボ材質	シェイパル、アルミナ
	ヒーター	W（Tungsten）
	熱シールド	Mo二重シールド方法
	シャッター機構	オプション
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特徴

• コンパクトで手軽に使用可能な蒸着源
• メンテナンスが容易
• 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
• ルツボ容量は1cc〜3ccと幅広い用途

応用蒸発材料

• Al (Aluminum)
• Cu(Copper)
• Au(Gold)
• In (Indium)
• Ca (Calcium)
• LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

2元金属蒸着セル　KMDW-Cell

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仕様

		KMDW-Cell
仕様	ルツボ容量	1cc
	接続フランジ	ICF-114FH
	ルツボ材質	シェイパル、アルミナ
	ヒーター	W（Tungsten）
	熱シールド	Mo二重シールド方法
	シャッター機構	オプション
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見積もり

特徴

• コンパクトで手軽に使用可能
• メンテナンスが容易
• 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
• 2種類の金属材料が自由に蒸着可能
• 材料の共蒸着が可能

応用蒸発材料

• Al (Aluminum)
• Cu(Copper)
• Au(Gold)
• In (Indium)
• Ca (Calcium)
• LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

3元金属蒸着セル　KMDT-Cell

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仕様

		KMDT-Cell
仕様	ルツボ容量	1cc
	接続フランジ	ICF-152FH or 特殊フランジ
	ルツボ材質	シェイパル、アルミナ
	ヒーター	W（Tungsten）
	熱シールド	Mo二重シールド方法
	シャッター機構	オプション
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• コンパクトで手軽に使用可能
• メンテナンスが容易
• 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
• 3種類の金属材料が自由に蒸着可能
• 材料の共蒸着が可能

応用蒸発材料

• Al (Aluminum)
• Cu(Copper)
• Au(Gold)
• In (Indium)
• Ca (Calcium)
• LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。