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概要・特徴

• 真空領域内に原料ガス(シラン等)、活性ガス(水素等)、不活性ガス(窒素、アルゴン等)を導入する際に使用されます。
• バルブは、SS-4H(ベローズシールタイプ)とLV-10(Oリングシールタイプ)の2種類から選択できます。
• VCRは、オス、メスのご指定が可能です。
• あらゆるフランジならびに継手類に対応致します。
• 全長は100mm(ICF-114フランジの場合のみ120mm)から、1mm単位でのご指定が可能です。
• 全長は特にご指定のない場合は、各フランジサイズでの最短全長となります。

選択表

• 下記の選択表から組み合わせてご指示下さい。
• 注文例：SS-4H(ベローズシールタイプ)の一端にICF-70フランジ、もう一端に1/4VCRオスをつけ、最短全長100mmで製作する場合。

※表以外の組み合わせも承っております。別途ご相談下さい。
※バルブ単体での取り扱いも承っております。
※LV-10(Oリングシールタイプ)の継手部分は、外径Φ10mmのパイプエンドになります。