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シャッター機構
シャッター機構 KSV-70・114・152・203 材質：SUS304
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仕様
| KSV-70 | KSV-114 | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 158.5 (mm) | 175.5 (mm) |
| B寸法 | 20 (mm) | ||
| C寸法 | 193.5 (mm) | 232.5 (mm) | |
| D寸法 | 27 (mm) | 48 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||
| ボルト穴径(数) | φ6.4 (mm) × 6 | φ8.4 (mm) × 8 | |
| 接続フランジサイズ | ICF-70 FH | ICF-114 FH | |
| 開閉機構 | KMMR-34S（特殊） | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
| KSV-152 | KSV-203 | ||
| 仕様 | A寸法 | 194.5 (mm) | 214.5 (mm) |
| B寸法 | 20 (mm) | 26 (mm) | |
| C寸法 | 270.5 (mm) | 316 (mm) | |
| D寸法 | 62 (mm) | 92 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||
| ボルト穴径(数) | φ8.4 (mm) × 16 | φ8.4 (mm) × 20 | |
| 接続フランジサイズ | ICF-152 FH | ICF-203 FH | |
| 開閉機構 | KMMR-34S（特殊） | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
特徴
- シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられています。
- サイズは、ICF-70・114・152・203となります。
- 真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです。
- RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。
- 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。
- バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です。
- 各種ビューイングポートに対応可能です。
- ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能です。
ビームシャッター機構 Beam Shutter System
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概要
ビームシャッター機構は、駆動系に電磁弁制御式のエアシリンダーが装備されており、応答速度の素早い遮断動作・開放動作が可能です。
本製品は、ルビジウム(Rb)やナトリウム(Na)などの原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャッター等にて使用されます。
特徴
- シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能
- コントロールBOX(標準付属)より、BNCコネクタを介しリモート制御にてシャッター開閉可能
- シャッターストロークは、0〜20mm(標準仕様)
- 取付けフランジサイズ、シャッター板形状は、任意に設計変更可能
- 200℃までのベーキングが可能
- 超高真空対応可能な構成
仕様
| Beam Shutter System | ||
|---|---|---|
| 仕様 | シャッター動作スピード | 30〜800mm/s |
| シャッター動作ストローク | 0〜20mm | |
| 取付けフランジ | ICF-70（スルーホール） | |
| ベーキング温度 | 200℃（エアシリンダー、電磁弁部除く） | |
| シャッター動作方向 | 全方位対応 | |
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CAD図面 （DXFファイル EXE形式） |
準備中です | |
| 見積もり | ||
[UHV Design社製]
ビューポートシャッター VPS38/VPS64/VPS100/VPS150
![[UHV Design社製] ビューポートシャッター](img/ph/VPS.jpg) |
![[UHV Design社製] ビューポートシャッター](img/cad/VPS.jpg) |
仕様
| VPS38 | VPS64 | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 37mm | 63.5mm |
| B寸法 | 32.8mm | 57mm | |
| C寸法 | 10mm | 19.5mm | |
| E寸法 | 116mm | 135mm | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 250(℃) | ||
| 接続フランジサイズ | ICF70（スルー） | ICF114（スルー） | |
| 駆動方式 | マグネティックカップリング回転導入機 | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
| VPS100 | VPS150 | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 101.6mm | 152.4mm |
| B寸法 | 87mm | 133.2mm | |
| C寸法 | 35.5mm | 52.5mm | |
| E寸法 | 158mm | 173mm | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 250(℃) | ||
| 接続フランジサイズ | ICF152（スルー） | ICF203（スルー） | |
| 駆動方式 | マグネティックカップリング回転導入機 | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
特徴
- シャッター駆動部にはマグネット式の回転導入機が取り付けられています。
- サイズは、ICF-70・114・152・203となります。
- 真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです。
- RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。
- バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です。
- 各種ビューイングポートに対応可能です。
- フリクションコントロール機能により、任意のオープン角度の設定が可能です。
- 250℃でのベーキングが可能です。
- オプションで圧空作動も可能です。
商品別｜導入機
CADデータのダウンロードに関して
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- Macintoshをご利用の方はStuffit Expander等のソフトにて解凍できます。
- 弊社ではCADデータの閲覧・編集ソフトの配布は行っておりませんのでご了承ください。
