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真空部品

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ICF規格品

ICFフランジは国際標準規格に準じた品質及び寸法であり、主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されております。ICFフランジには、ブランク・タップ・回転の3種類があり、用途や各部品の接続環境等によって使い分けます。特に、装置全体のボリュームが大きい時などは、配管等も複雑になりますのでタップや回転フランジの働きが重要になります。許容温度範囲は、−190℃から+450℃までの使用が可能です。通常のICFフランジの他に、ボルト穴数やフランジの厚み等の違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。また、超高真空領域にて用いられる場合は、ベーキング処理(真空炉450℃にて48時間ベーキング)も承ります。

フランジ
ガスケット
Oリング
継手類
アクセサリー

ISO(KF・LF)規格品

ISO-KF・LF規格は、ボルト、ガスケットを使用せずにセンターリングとクランプで接続しますので、他のフランジ類に比べて繰り返しの使用や各種継手との接続が容易に行えます。主に排気配管ラインに多く利用されており、フレキシブルチューブやバルブ等を挟みながら配管するにも便利です。バイトンOリングを使用していますので、ベーキングは140℃以下にて行います。

フランジ
ガスケット
Oリング
継手類

JIS規格品

JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空容器や配管継手類等に使用されています。JISフランジにはOリング溝が有るもの(VG)と無いもの(VF)との2種類があり、相手フランジによって使い分けます。フランジのシールには、バイトンOリング(Vシリーズ)を使用しますので、ベーキングは140℃以下にて行います。通常のJISフランジ以外にも、タップ穴やフランジの厚みの違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。

フランジ
ガスケット
Oリング
継手類
アクセサリー

チューブ継手付きフランジ

ガス導入バルブ付きフランジ

ガスライン用フレキシブルチューブ

電流導入端子シリーズ

低温高圧セル

アクセサリー