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導入機

ホーム製品案内導入機蒸着セル
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蒸着セル

有機蒸着セル KOD-Cell II(4cc/10cc)

KOD-Cell II
KOD-Cell2
仕様
  KOD-Cell II
仕様 ルツボ容量 4cc/10cc
接続フランジ ICF-70FH
ヒーター シース型
最大動作安定温度 500℃
加熱制御温度 100℃〜500℃
温度安定性 ±0.2℃
熱電対 K型(C/A)
ルツボ材質 シェイパル、高密度カーボン、アルミナ
シャッター機構 手動式/圧空式
蒸着レート 0.01Å/sが容易に制御可能
(Cygnus(Inficon社)を推奨)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 680,000 円(手動式) 750,000 円(圧空式)
※()内はシャッターの駆動方法となります。
見積もり
納期 1ヶ月
特徴
  • ルツボは、4ccで、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
  • 厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
  • シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
  • シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です。
  • 非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です。
  • 接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です。
  • 洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です。
用途
  • 高蒸気圧材料薄膜の成長
  • 有機物薄膜の成長
  • 金属薄膜の成長(低温蒸着用)

※ その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

有機蒸着セル KOD-Cell

KOD-Cell
KOD-Cell
仕様
  KOD-Cell
仕様 ルツボ容量 1cc
接続フランジ ICF-70FH
ヒーター シース型
最高動作安定温度 500℃
加熱制御温度 100℃〜500℃
温度安定性 ±0.2℃
熱電対 K型(C/A)
ルツボ材質 シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス
冷却方式 水冷ジャケット付(SUS 1/4“管)
シャッター機構 手動式/圧空式
面内分布 2インチ内にて下記の分布を保証致します。
有機膜:±2.5%
※上記数値は、基板面内回転時となります。
材料効率 1ccのルツボにて、下記の有機材料成膜を保障致します。
0.2gの材料にて、1Å/sのレートで
50nmの成膜を5回以上可能
蒸着レート 0.01Å/sが容易に制御可能
(Inficon社製膜厚計:Cygnusを推奨)
TS間距離 基板から蒸着源までの推奨長は、250mmです。
蒸着特性 低レート制御における蒸着特性
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 480,000 円(手動式) 550,000 円(圧空式)
※()内はシャッターの駆動方法となります。
見積もり
納期 1ヶ月
特徴
  • ルツボは、1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
  • 厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
  • シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
  • シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です。
  • 非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です。
  • 接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です。
  • 洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です。
用途
  • 高蒸気圧材料薄膜の成長
  • 有機薄膜の成長
  • 金属薄膜の成長(低温蒸着用)

※ その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

特性

有機蒸着セル用電源 KTC-2A・2ASP

本電源は、弊社有機蒸着セル“KODシリーズ”対応の小型交流電源となります。電源制御は、SCR(サイリスター)による位相制御とし、電源電圧は100V仕様となります。

KTC-2A
KTC-2A
仕様
  KTC-2A KTC-2ASP
温調器 D-100(理化工業社製) PF900(理化工業)
※プログラムコントローラー付き
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 250,000 円 350,000 円
見積もり
特徴
  • 電源コントロールはSCRによる位相制御となります。
  • コントローラーには、温調器D100(理化工業)を用いています。(標準タイプ)
  • プログラムコントロールする場合は、PF900(理化工業)を用いています。(型式:KTC-2ASP)
  • KODシリーズに合わせる為、電流計は2A仕様となります。(仕様電流が1A以下にて設定温度に達する為)

金属蒸着セル KMD-Cell

KMD-Cell
KMD-Cell
仕様
  KMD-Cell
仕様 ルツボ容量 10cc
接続フランジ ICF-70FH
常用加熱温度 1200℃
最高加熱温度 1400℃
ルツボ材質 PBN、シェイパル
熱電対 W 5%/WRe 26%
ヒーター Ta (Tantalum)
熱シールド Ta 多層シールド方法
シャッター機構 オプション(接続フランジがICF-114となります)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 1,200,000 円
見積もり
納期 2ヶ月
特徴
  • コンパクトで手軽に使用可能
  • ルツボ容量は10cc、幅広い用途
  • 均一なルツボ温度
  • メンテナンスが容易
  • 温度安定性・操作性の優れている
応用蒸発材料
  • Si (Silicon)
  • Ga (Gallium)
  • Al (Aluminum)
  • In (Indium) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

1元蒸着簡易セル KMDS-Cell

KMDS-Cell
KMD-Cell
仕様
  KMDS-Cell
仕様 ルツボ容量 1〜3cc
接続フランジ ICF-114FH
ルツボ材質 シェイパル、アルミナ
ヒーター W(Tungsten)
熱シールド Mo二重シールド方法
シャッター機構 オプション
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 600,000 円
見積もり
納期 1ヶ月
特徴
  • コンパクトで手軽に使用可能な蒸着源
  • メンテナンスが容易
  • 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
  • ルツボ容量は1cc〜3ccと幅広い用途
応用蒸発材料
  • Al (Aluminum)
  • Cu(Copper)
  • Au(Gold)
  • In (Indium)
  • Ca (Calcium)
  • LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

2元金属蒸着セル KMDW-Cell

KMDW-Cell
KMD-Cell
仕様
  KMDW-Cell
仕様 ルツボ容量 1cc
接続フランジ ICF-114FH
ルツボ材質 シェイパル、アルミナ
ヒーター W(Tungsten)
熱シールド Mo二重シールド方法
シャッター機構 オプション
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 1,200,000 円
見積もり
特徴
  • コンパクトで手軽に使用可能
  • メンテナンスが容易
  • 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
  • 2種類の金属材料が自由に蒸着可能
  • 材料の共蒸着が可能
応用蒸発材料
  • Al (Aluminum)
  • Cu(Copper)
  • Au(Gold)
  • In (Indium)
  • Ca (Calcium)
  • LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

3元金属蒸着セル KMDT-Cell

KMDT-Cell
KMD-Cell
仕様
  KMDT-Cell
仕様 ルツボ容量 1cc
接続フランジ ICF-152FH or 特殊フランジ
ルツボ材質 シェイパル、アルミナ
ヒーター W(Tungsten)
熱シールド Mo二重シールド方法
シャッター機構 オプション
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 1,800,000 円
見積もり
特徴
  • コンパクトで手軽に使用可能
  • メンテナンスが容易
  • 通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成
  • 3種類の金属材料が自由に蒸着可能
  • 材料の共蒸着が可能
応用蒸発材料
  • Al (Aluminum)
  • Cu(Copper)
  • Au(Gold)
  • In (Indium)
  • Ca (Calcium)
  • LiF (Lithium Fluoride) etc.

その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。

商品別|導入機

蒸着セル
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ダウンロードボタンをクリックの上、任意の場所(デスクトップ等)に「保存」してください。ダウンロードされたEXE形式のファイルをダブルクリックするとAuto Cad形式のDXFファイルに解凍されます(解凍ソフトのインストールなどは特に必要ございません)。
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  • 弊社ではCADデータの閲覧・編集ソフトの配布は行っておりませんのでご了承ください。
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