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導入機

ホーム製品案内導入機多軸・複合運動
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多軸・複合運動

トランスファーロッド(Z-φ軸) KTS-100・200・300

KTS
KTS
仕様
  KTS-100 KTS-200 KTS-300
仕様 A寸法 231 (mm) 331 (mm) 431 (mm)
B寸法(ストローク) 100 (mm) 200 (mm) 300 (mm)
C寸法(出先寸法) 50〜150 (mm) 50〜250 (mm) 50〜350 (mm)
重量 - (kg) - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 3 (kgf)
回転トルク 2 (kgf/cm)
回転角目盛 30 (°)
駆動軸径 φ6 (mm)
接続フランジサイズ ICF-34 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード 只今準備中
標準価格(税抜) 298,000 円 320,000 円 340,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間 2週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • オプションとして回転止め機構:RS(別売)や延長ハンドル:EH(別売)を取付ける事が出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド(Z-φ軸) KTM-200・300・400

KTM
KTM
仕様
  KTM-200 KTM-300
仕様 A寸法 320 (mm) 420 (mm)
B寸法(ストローク) 200 (mm) 300 (mm)
C寸法(出先寸法) 100〜300 (mm) 100〜400 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 3 (kgf)
回転トルク 2 (kgf/cm)
回転角目盛 30 (°)
駆動軸径 φ6 (mm)
接続フランジサイズ ICF-70 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 350,000 円 370,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • オプションとして回転止め機構:RS(別売)や延長ハンドル:EH(別売)を取付ける事が出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド(Z-φ軸) KTL-500・750・1000

KTL
KTL
仕様
  KTL-500 KTL-750 KTL-1000
仕様 A寸法 665 (mm) 915 (mm) 1165 (mm)
B寸法(ストローク) 500 (mm) 750 (mm) 1000 (mm)
C寸法(出先寸法) 100〜600 (mm) 100〜850 (mm) 100〜1100 (mm)
重量 - (kg) 3.4 (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 6 (kgf)
回転トルク 9 (kgf/cm)
回転角目盛 10 (°)
駆動軸径 φ10 (mm)
接続フランジサイズ ICF-70 (FH)
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 480,000 円 500,000 円 520,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間 2週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • オプションとして回転止め機構:RS(別売)や延長ハンドル:EH(別売)を取付ける事が出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド(Z-φ軸) KTX-500・750・1000

KTX
KTX
仕様
  KTX-500 KTX-750 KTX-1000
仕様 A寸法 706 (mm) 956 (mm) 1206 (mm)
B寸法(ストローク) 500 (mm) 750 (mm) 1000 (mm)
C寸法(出先寸法) 200〜700 (mm) 200〜950 (mm) 200〜1200 (mm)
重量 - (kg) - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 6 (kgf)
回転トルク 9 (kgf/cm)
回転角目盛 10 (°)
駆動軸径 φ16 (mm) (パイプシャフト)
接続フランジサイズ ICF-114 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 650,000 円 680,000 円 700,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間 2週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • オプションとして回転止め機構:RS(別売)や延長ハンドル:EH(別売)を取付ける事が出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド(Z-φ軸) KTS-100W・200W・300W

KTS-W
KTS-W
仕様
  KTS-100W KTS-200W KTS-300W
仕様 A寸法 332 (mm) 432 (mm) 532 (mm)
B寸法(ストローク) 100mm 200mm 300mm
C寸法(外軸出先寸法) 50〜150 (mm) 50〜250 (mm) 50〜350 (mm)
D寸法(内軸出先寸法) 30±15 (mm)
重量 - (kg) - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 3 (kgf)
回転トルク 2 (kgf/cm)
回転角目盛 30 (°)
駆動軸径 外軸 φ6 (mm)
内軸 φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
接続フランジサイズ ICF-34 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード 只今準備中
標準価格(税抜) 428,000 円 450,000 円 470,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間 3週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
  • メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
  • 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド(Z-φ軸) KTM-200W・300W

KTM-W
KTM-W
仕様
  KTM-200W KTM-300W
仕様 A寸法 421 (mm) 521 (mm)
B寸法(ストローク) 200 (mm) 300 (mm)
C寸法(外軸出先寸法) 100〜300 (mm) 100〜400 (mm)
D寸法(内軸出先寸法) 30±15 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 3 (kgf)
回転トルク 2 (kgf/cm)
回転角目盛 30 (°)
駆動軸径 外軸 φ6 (mm)
内軸 φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
接続フランジサイズ ICF-70 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 480,000 円 500,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
  • メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
  • 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド(Z-φ軸) KTL-500W・750W

KTL-W
KTL-W
仕様
  KTL-500W KTL-750W
仕様 A寸法 785 (mm) 1035 (mm)
B寸法(ストローク) 500 (mm) 750 (mm)
C寸法(外軸出先寸法) 100〜600 (mm) 100〜850 (mm)
D寸法(内軸出先寸法) 10〜25 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 6 (kgf)
回転トルク 9 (kgf/cm)
回転角目盛 10 (°)
駆動軸径 外軸 φ10 (mm)
内軸 φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
接続フランジサイズ ICF-70 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 940,000 円 960,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
  • メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
  • 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド(Z-φ軸) KTX-500W・750W

KTX-W
KTX-W
仕様
  KTX-500W KTX-750W
仕様 A寸法 830.5 (mm) 1080.5 (mm)
B寸法(ストローク) 500 (mm) 750 (mm)
C寸法(外軸出先寸法) 200〜700 (mm) 200〜950 (mm)
D寸法(内軸出先寸法) 10〜25 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
直進力 6 (kgf)
回転トルク 9 (kgf/cm)
回転角目盛 10 (°)
駆動軸径 外軸 φ16 (mm) (パイプシャフト)
内軸 φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
接続フランジサイズ ICF-114 FH
駆動方式 マグネット方式
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 1.260,000 円 1.320,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
  • 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
  • メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
  • 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
  • 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
  • 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

オプション モーター駆動・回転止め(RS)・プロテクター(PT)・延長ハンドル(EH)

モーター駆動
モーター駆動
仕様
  KTS(W) KTM(W)
仕様 制御方法 PLC&PC PLC&PC
位置決め精度(mm)(度) 0.5 0.5
分解能(mm)(度) 0.0005 0.0005
モーター種類 42mm5相ステッピングorAC 42mm5相ステッピングorAC
トルク(Nm)推力(N) 0.9 60N 0.9 60N
据付方向 360° 360°
標準価格(税抜) 別途ご相談ください 別途ご相談ください
見積もり
  KTL(W) KTX(W)
仕様 制御方法 PLC&PC PLC&PC
位置決め精度(mm)(度) 0.5 0.5
分解能(mm)(度) 0.0005 0.0005
モーター種類 42mm5相ステッピングorAC 42mm5相ステッピングorAC
トルク(Nm)推力(N) 0.9 60N 0.9 60N
据付方向 360° 360°
標準価格(税抜) 別途ご相談ください 別途ご相談ください
見積もり
回転止め(RS)
KTS-RS
KTS-RS
KTM-RS
KTL-RS
KTX-RS
  KTS-RS KTM-RS KTL-RS KTX-RS
仕様 A寸法 -- (mm) -- (mm) -- (mm) -- (mm)
B寸法 69 (mm) 89 (mm)
対応ストローク 100〜200 (mm) 200〜300 (mm) 500〜1000 (mm)
重量 - (kg) - (kg) - (kg) - (kg)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
適応機種 KTSシリーズ KTMシリーズ KTLシリーズ KTXシリーズ
標準価格(税抜) 80,000 円 80,000 円 85,000 円 85,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間 3週間 3週間
プロテクター(PT)
KTL-PT
  KTL-PT KTX-PT
仕様 A寸法 -- (mm) -- (mm)
B寸法 -- (mm) -- (mm)
対応ストローク 500〜1000 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
適応機種 KTLシリーズ KTXシリーズ
標準価格(税抜) 85,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
延長ハンドル(EH)
KTL-EH
  KTL-EH KTX-EH
仕様 A寸法 -- (mm) -- (mm)
B寸法 -- (mm) -- (mm)
対応ストローク 500〜1000 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
適応機種 KTLシリーズ KTXシリーズ
標準価格(税抜) 125,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング無)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、真空排気をしました。
  • トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、6.5×10-8Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング無)

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(プレベーキング)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間ベーキング(トランスファーロッドのみ)を実施しました。
  • ベーキング終了後、チャンバーを大気開放し、トランスファーロッドを一時取り外します。
  • 取り外した後、1時間経過の後にトランスファーロッドをチャンバーに再び設置し、真空排気を行ないます。
  • トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、1.2×10-7Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
残留ガス分析及びガス放出速度(プレベーキング)

データ 残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング有)

測定条件
  • テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間のベーキング(トランスファーロッドのみ)を実施しました。
  • ベーキング終了後、トランスファーロッドを上下に連続的に稼動させ、稼動前と稼動中にてデータを取得します。
  • 本測定におけるガス放出速度は、3.9×10-8Pam3s-1m-2となりました。
  • 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500(標準品)となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
残留ガス分析及びガス放出速度(ベーキング有)

[UHV Design社製]
トランスファーロッド PP35-(304-H〜1219-H)

UHV Design
[UHV Design社製] トランスファーロッド
[UHV Design社製] トランスファーロッド
仕様
  PP35-304-H PP35-457-H PP35-609-H
仕様 ストローク 304mm 457mm 609mm
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 250(℃)
直進力 180N
回転トルク 4Nm
回転角目盛 無し
駆動軸径 Φ16mm (先端M8タップ)
接続フランジサイズ ICF70
駆動方式 マグネットカップリング
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
準備中 準備中 ダウンロード
標準価格(税抜) 423,000 円 479,000 円 513,000 円
見積もり
  PP35-914-H PP35-1219-H
仕様 ストローク 914mm 1219mm
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 250(℃)
直進力 180N
回転トルク 4Nm
回転角目盛 無し
駆動軸径 Φ16mm (先端M8タップ)
接続フランジサイズ ICF70
駆動方式 マグネットカップリング
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 576,000 円 671,000 円
見積もり
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • マグネットを付けた状態で250℃のベーキングが可能です。
  • 強固なデザインによりがたつきが無く直進安定性及び位置再現性に優れています。
  • 10Nの荷重を取り付けて600mm伸ばした状態でのシャフトの垂れ量は1mm以下です。
  • 高回転トルク、高直進力により、垂直方向の取付にも対応します。
  • オプションでモーター駆動も可能です。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。

[UHV Design社製]
ミニトランスファーロッド MPPRL-(100-H〜300-H)

UHV Design
[UHV Design社製] ミニトランスファーロッド
[UHV Design社製] ミニトランスファーロッド
仕様
  MPPRL-100-H MPPRL-200-H MPPRL-300-H
仕様 ストローク 100mm 200mm 300mm
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 250(℃)
直進力 90N
回転トルク 0.4Nm
回転角目盛 無し
駆動軸径 Φ8mm (先端M3タップx2)
接続フランジサイズ ICF34
駆動方式 マグネットカップリング
CAD図面
(DXF/STEPファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 別途ご相談ください
見積もり
特徴
  • 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
  • マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
  • 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
  • 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
  • マグネットを付けた状態で250℃のベーキングが可能です。
  • 小型ながら高性能な搬送を可能にしました。

ミニXステージ KX-34・34/70

KX-34
KX-34
仕様
  KX-34 KX-34/70
仕様 A寸法(X軸移動量) 157.5 ±5 (mm)
B寸法 80 (mm)
C寸法 51 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ17 (mm)
移動精度 0.01 (mm)
位置決め目盛 0.01 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-34 FT ICF-34 FT
下部 ICF-70 FT
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード 只今準備中
標準価格(税抜) 262,000 円 282,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間
特徴
  • 中空構造の1軸(X軸)のステージとなります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は0.5mmです。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所での1軸方向への微調整等に最適です。
  • 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

Xステージ KX-70・70/114

KX-70
KX
仕様
  KX-70 KX-70/114
仕様 A寸法(X軸移動量) 244 ±12.5 (mm)
B寸法 130 (mm)
C寸法 80 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ36 (mm)
移動精度 0.01 (mm)
位置決め目盛 0.01 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-70 FT ICF-70 FT
下部 ICF-114 FT
チルト動作範囲 全方位 2 (°)
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 380,000 円 400,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間
特徴
  • 中空構造の1軸(X軸)のステージとなります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は0.5mmです。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所での1軸方向への微調整等に最適です。
  • 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

データ KX移動量計算式資料

Xステージにおける、ベローズ有効内径、導入物外径、X方向移動量について

Xステージでは、取り付けた際の本体の内径と、使用されている導入物の外径によって、X方向への最大移動量が変化します。
以下の式に、本体の有効内径と、使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てはめることで、X方向への最大移動量を算出できます。
但し、X方向への最大移動量は≦12.5mmとなります。

X=(d-D)/2

d:有効内径 D:予定導入物外径 X:X方向最大移動量
※有効内径は別記の表をご参考ください。

例:有効内径:dがφ36mmで、導入物の外径:Dがφ10mmであったとき
X方向への移動:Aは・・・
X=(d−D)/2 より
X=(36−10)/2 となり
=26/2=13 となりますが、
X方向への最大移動量が、≦12.5mmである為、
X方向への移動量は 『±12.5mm』 となります。

<KXステージ移動量計算用図面>

KXY
KXシリーズ ベローズ有効内径表
形式 ベローズ有効内径
KX-34 φ16mm
KX-34/70 φ16mm
KX-70 φ36mm
KX-70/114 φ36mm
KX-114 φ64mm

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

ミニX/Yステージ KXY-34・34/70

KXY-34
KXY
仕様
  KXY-34 KXY-34/70
仕様 A寸法(X軸移動量) 157.5 ±5 (mm)
B寸法(Y軸移動量) 157.5 ±5 (mm)
C寸法 51(mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ17 (mm)
移動精度 X軸方向 0.01 (mm)
Y軸方向
位置決め目盛 X軸 0.01 (mm)
Y軸
接続フランジサイズ 上部 ICF-34 FT ICF-34 FT
下部 ICF-70 FT
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード 只今準備中
標準価格(税抜) 280,000 円 300,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間
特徴
  • 中空構造の2軸(X軸・Y軸)のステージとなります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
  • 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

X/Yステージ KXY-70・70/114

KXY-70
KXY-70
仕様
  KXY-70 KXY-70/114
仕様 A寸法(X軸移動量) 244 ±12.5 (mm)
B寸法(Y軸移動量) 244 ±12.5 (mm)
C寸法 80 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ36 (mm)
移動精度 X軸方向 0.01 (mm)
Y軸方向
位置決め目盛 X軸 0.01 (mm)
Y軸
接続フランジサイズ 上部 ICF-70 FT ICF-70 FT
下部 ICF-114 FT
チルト動作範囲 全方位 2 (°)
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 460,000 円 480,000 円
見積もり
納期 2週間 2週間
特徴
  • 中空構造の2軸(X軸・Y軸)のステージとなります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
  • 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

X/Yステージ KXY-114

KXY-114
KXY-114
仕様
  KXY-114
仕様 A寸法(X軸移動量) 330 ±12.5 (mm)
B寸法(Y軸移動量) 330 ±12.5 (mm)
C寸法 144 (mm)
重量 8.2 (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ70 (mm)
移動精度 X軸方向 0.02 (mm)
Y軸方向
位置決め目盛 X軸 0.02 (mm)
Y軸
接続フランジサイズ 上部 ICF-114 FT
下部
チルト動作範囲 なし
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 690,000 円
見積もり
納期 1.5ヶ月
特徴
  • 中空構造の2軸(X軸・Y軸)のステージとなります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
  • 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

データ KXY移動量計算式資料

XYステージにおけるベローズ有効内径、導入物外径、X方向最大移動量、Y方向最大移動量の計算

X・Yステージでは、取り付けた際の本体の内径と使用される導入機器の外径によってX・Y方向への移動量が変化します。
以下の式に、本体の有効内径と使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てはめることで、X方向への移動量を算出できます。
但し、X(Y)方向移動量が0mmの時、Y(X)の限界移動量は≦12.5mmとなります。

はじめに・・・

d:有効内径(mm) D:予定導入物外径(mm)
X:X方向最大移動量(mm) Y:Y方向最大移動量(mm)

・・・とします。 ※有効内径は別記の表をご参考ください。

1. D, dが既知であり、X・Y方向移動量が同じであった時の双方の最大移動量は

X=Y=((d-D)/2)/√2

例1:有効内径:dがφ36mmあり、導入物外径:Dがφ10mmである時
X・Y両方向を同時に移動した場合の最大移動量:X・Yは・・・
X=Y=((d-D)/2)/√2 より
X=Y=((36-10)/2)/√2 となり
X=Y=9.19≒9.2 となります。

よって、この場合のX・Y方向最大移動量は ±9.2mm になります。

<XYステージ移動量計算用図面>

KXY

2. D, dが既知で、X≠Y且つ、Y方向移動量が既知である時のX方向最大移動量は

X=√((d-D)/2)2/-Y2

※ X方向移動量が既知の時は式中のX・Yを入れ替えてください。

例2. 有効内径:dがφ36mmあり、導入物外径:Dがφ10mmの時、Y方向移動量:Yを±6.5mmとした時の、X方向の最大移動量:Xは
X=√((d-D)/2)2-Y2 より
X=√((36-10)/2)2-6.52 となり
X=√126.75=11.25≒11.3 となります。

よって、この時のX方向への最大移動量は ±11.3mm になります。

<XYステージ移動量計算用図面>

KXY
KXYシリーズ 有効内径表
型式 有効内径
KXY-34 φ16mm
KXY-34/70 φ16mm
KXY-70 φ36mm
KXY-70/114 φ36mm
KXY-114 φ64mm

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

ICF-70タイプ(X-Y-Z軸)(50z) KSM-70

KSM-70
KSM-70
仕様
  KSM-70
仕様 A寸法 195 (mm)
B寸法 90 (mm)
C寸法(X軸移動量) 163±6 (mm)
D寸法(Y軸移動量) 209±6 (mm)
E寸法(Z軸移動量) 126〜176 (mm)
重量 - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ17 (mm)
移動精度 X軸方向 0.01 (mm)
Y軸方向
Z軸方向 0.05 (mm)
位置決め目盛 X軸 0.01 (mm)
Y軸
Z軸 0.05 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-34 FT
下部 ICF-70 FH
導入用ポート なし
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 490,000 円
見積もり
納期 3週間
特徴
  • ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • X,Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
  • Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
  • 各種オプション(別売)を利用する事で、X,Y.Z軸方向への移動だけでなく、回転機構,面内回転機構,加熱機構,冷却機構等を使用する事が出来ます。
  • 蒸着装置,MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

ICF-114タイプ(X-Y-Z軸)(50z・150z) KSM-114

KSM-114
KSM-114
仕様
  KSM-114(50Z) KSM-114(150Z)
仕様 A寸法 289.2 (mm) 389.2 (mm)
B寸法 130 (mm)
C寸法(X軸移動量) 244±12.5 (mm)
D寸法(Y軸移動量) 306±12.5 (mm)
E寸法(Z軸移動量) 222〜272 (mm) 222〜372 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ40 (mm)
移動精度 X軸方向 0.01 (mm)
Y軸方向 0.01 (mm)
Z軸方向 0.05 (mm)
位置決め目盛 X軸 0.01 (mm)
Y軸 0.01 (mm)
Z軸 0.05 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-70 FT
下部 ICF-114 FH
導入用ポート なし
チルト動作範囲(上部フランジ) 全方位 2 (°)
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 740,000 円 980,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
特徴
  • ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • X,Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
  • Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
  • 各種オプション(別売)を利用する事で、X,Y.Z軸方向への移動だけでなく、回転機構,面内回転機構,加熱機構,冷却機構等を使用する事が出来ます。
  • 蒸着装置,MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

ICF-152タイプ(X-Y-Z軸)(50z・150z) KSM-152

KSM-152
KSM-152
仕様
  KSM-152(50Z) KSM-152(150Z)
仕様 A寸法 289.2 (mm) 389.2 (mm)
B寸法 130 (mm)
C寸法(X軸移動量) 179±12.5 (mm)
D寸法(Y軸移動量) 244±12.5 (mm)
E寸法(Z軸移動量) 222〜272 (mm) 222〜372 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効内径 φ40 (mm)
移動精度 X軸方向 0.01 (mm)
Y軸方向 0.01 (mm)
Z軸方向 0.05 (mm)
位置決め目盛 X軸 0.01 (mm)
Y軸 0.01 (mm)
Z軸 0.05 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-70 FT
下部 ICF-152 FH
導入用ポート ICF-34 FT × 6
チルト動作範囲(上部フランジ) 全方位 2 (°)
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 820,000 円 1.000,000 円
見積もり
納期 3週間 3週間
特徴
  • ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • X,Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
  • Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
  • ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
  • 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
  • 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
  • 各種オプション(別売)を利用する事で、X,Y.Z軸方向への移動だけでなく、回転機構,面内回転機構,加熱機構,冷却機構等を使用する事が出来ます。
  • 蒸着装置,MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

データ KXY移動量計算式資料

セミ・マニピュレーターのXYステージにおけるベローズ有効内径、導入物外径、X方向およびY方向の最大移動量の計算

セミ・マニピュレータの機能の一つであるX・Yステージは、取り付けた際の本体の内径と、使用されている導入機器の外径によりX・Y方向への最大移動量が変化します。
以下に示すの計算式に、本体の有効内径と使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てることでX、又はY方向への移動量を算出できます。
但し、X(Y)方向移動量が0mmの時、Y(X)の限界移動量は≦12.5mmとなります。

はじめに・・・

d:有効内径(mm) D:予定導入物外径(mm)
X:X方向最大移動量(mm) Y:Y方向最大移動量(mm)

・・・とします。 ※有効内径は別記の表をご参考ください。

1. D, dが既知であり、X・Y方向移動量が同じであった時の双方の最大移動量は

X=Y=((d-D)/2)/√2

例1:有効内径:dがφ36mmあり、導入物外径:Dがφ10mmである時
X・Y両方向を同時に移動した場合の最大移動量:X・Yは・・・
X=Y=((d-D)/2)/√2 より
X=Y=((36-10)/2)/√2 となり
X=Y=9.19≒9.2 となります。

よって、この場合のX・Y方向最大移動量は ±9.2mm になります。

<XYステージ移動量計算用図面>

KXY

2. D, dが既知で、X≠Yで、且つY方向移動量が既知である時のX方向最大移動量は

X=√((d-D)/2)2/-Y2

※ X方向移動量が既知の時は式中のX・Yを入れ替えてください。

例2. 有効内径:dがφ36mmあり、導入物外径:Dがφ10mmの時、Y方向移動量:Yを±6.5mmとした時の、X方向の最大移動量:Xは
X=√((d-D)/2)2-Y2 より
X=√((36-10)/2)2-6.52 となり
X=√126.75=11.25≒11.3 となります。

よって、この時のX方向への最大移動量は ±11.3mm になります。

<XYステージ移動量計算用図面>

KXY
KXYシリーズ 有効内径表
型式 有効内径
KSM-34 φ16mm
KSM-34/70 φ16mm
KSM-70 φ36mm
KSM-70/114 φ36mm
KSM-114 φ64mm

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

チルト機構(ω軸) KTJ-34

KTJ-34
KTJ-34
仕様
  KTJ-34
仕様 重量 - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
有効傾斜角度 全方位 10 (°)
有効内径 φ17 (mm)
接続フランジサイズ 上部 ICF-34 FT
下部 ICF-70 FH
駆動方式 ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード
標準価格(税抜) 270,000 円
見積もり
納期 2週間
特徴
  • 360°方向で稼動する中空構造のチルト機構となります。
  • 超高真空領域まで使用出来ます。
  • 接続フランジはチャンバー側にICF-70FH、フィールドスルー側にICF-34FTを設けています。
  • ネジ式のストッパーを用いている為、任意の角度での設定及び角度の維持が出来ます。
  • 他の導入機等を組み合わせる事で、チャンバー内での動作範囲を広げる事が出来ます。
  • フィールドスルー等での角度付けや試料等の斜め方向への導入・搬送を行う際に効果的です。

商品別|導入機

多軸・複合運動
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