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真空部品

ホーム製品案内真空部品ガス導入バルブ付きフランジ
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ガス導入バルブ付きフランジ

ガス導入バルブ付きフランジ
ガス導入バルブ付きフランジ
概要・特徴
  • 真空領域内に原料ガス(シラン等)、活性ガス(水素等)、不活性ガス(窒素、アルゴン等)を導入する際に使用されます。
  • バルブは、SS-4H(Oリングシールタイプ)とLV-10(ベローズシールタイプ)の2種類から選択できます。
  • VCRは、オス、メスのご指定が可能です。
  • あらゆるフランジならびに継手類に対応致します。
  • 全長は100mm(ICF-114フランジの場合のみ120mm)から、1mm単位でのご指定が可能です。
  • 全長は特にご指定のない場合は、各フランジサイズでの最短全長となります。
選択表
  • 下記の選択表から組み合わせてご指示下さい。
  • 注文例:SS-4H(ベローズシールタイプ)の一端にICF-70フランジ、もう一端に1/4VCRオスをつけ、最短全長100mmで製作する場合。
ガス導入バルブ付きフランジ注文例
型式 フランジサイズ   バルブ名称   継手名称
KT- ICF-34 - SS-4H (ベローズシールバルブ) - 1/4VCRオス(メス)
ICF-70 3/8VCRオス(メス)
ICF-114 1/4スウェージロック
VF(VG)10 3/8スウェージロック
VF(VG)20
VF(VG)25 1/4パイプエンド
VF(VG)40
VF(VG)50 3/8パイプエンド
NW16-KF
NW25-KF LV-10(Oリングシールバルブ)
NW40-KF
見積もり
納期 別途ご相談ください

※表以外の組み合わせも承っております。別途ご相談下さい。
※バルブ単体での取り扱いも承っております。
※LV-10(Oリングシールタイプ)の継手部分は、外径Φ10mmのパイプエンドになります。

商品別|真空部品

ガス導入バルブ付き
フランジ