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導入機

ホーム製品案内導入機シャッター機構
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シャッター機構

シャッター機構 KSV-70・114・152・203 材質:SUS304

KSV
KSV
仕様
  KSV-70 KSV-114
仕様 A寸法 158.5 (mm) 175.5 (mm)
B寸法 20 (mm)
C寸法 193.5 (mm) 232.5 (mm)
D寸法 27 (mm) 48 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
ボルト穴径(数) φ6.4 (mm) × 6 φ8.4 (mm) × 8
接続フランジサイズ ICF-70 FH ICF-114 FH
開閉機構 KMMR-34S(特殊)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 160,000 円 180,000 円
見積もり
納期 3週間(仕様・形状により異なります)
  KSV-152 KSV-203
仕様 A寸法 194.5 (mm) 214.5 (mm)
B寸法 20 (mm) 26 (mm)
C寸法 270.5 (mm) 316 (mm)
D寸法 62 (mm) 92 (mm)
重量 - (kg) - (kg)
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 200 (℃)
ボルト穴径(数) φ8.4 (mm) × 16 φ8.4 (mm) × 20
接続フランジサイズ ICF-152 FH ICF-203 FH
開閉機構 KMMR-34S(特殊)
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 200,000 円 220,000 円
見積もり
納期 3週間(仕様・形状により異なります)
特徴
  • シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられています。
  • サイズは、ICF-70・114・152・203となります。
  • 真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです。
  • RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。
  • 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。
  • バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です。
  • 各種ビューイングポートに対応可能です。
  • ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能です。

ビームシャッター機構 Beam Shutter System

ビームシャッター機構
ビームシャッター機構図面
概要

ビームシャッター機構は、駆動系に電磁弁制御式のエアシリンダーが装備されており、応答速度の素早い遮断動作・開放動作が可能です。
本製品は、ルビジウム(Rb)やナトリウム(Na)などの原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャッター等にて使用されます。

特徴
  • シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能
  • コントロールBOX(標準付属)より、BNCコネクタを介しリモート制御にてシャッター開閉可能
  • シャッターストロークは、0〜20mm(標準仕様)
  • 取付けフランジサイズ、シャッター板形状は、任意に設計変更可能
  • 200℃までのベーキングが可能
  • 超高真空対応可能な構成
仕様
  Beam Shutter System
仕様 シャッター動作スピード 30〜800mm/s
シャッター動作ストローク 0〜20mm
取付けフランジ ICF-70(スルーホール)
ベーキング温度 200℃(エアシリンダー、電磁弁部除く)
シャッター動作方向 全方位対応
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
準備中です
標準価格(税抜) 別途ご相談ください
見積もり

[UHV Design社製]
ビューポートシャッター VPS38/VPS64/VPS100/VPS150

UHV Design
[UHV Design社製] ビューポートシャッター
[UHV Design社製] ビューポートシャッター
仕様
  VPS38 VPS64
仕様 A寸法 37mm 63.5mm
B寸法 32.8mm 57mm
C寸法 10mm 19.5mm
E寸法 116mm 135mm
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 250(℃)
接続フランジサイズ ICF70(スルー) ICF114(スルー)
駆動方式 マグネティックカップリング回転導入機
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 181,000 円 177,000 円
見積もり
  VPS100 VPS150
仕様 A寸法 101.6mm 152.4mm
B寸法 87mm 133.2mm
C寸法 35.5mm 52.5mm
E寸法 158mm 173mm
許容リーク量 ≦1.33×10-11(Pa・m3/sec)
許容加熱温度 ≦ 250(℃)
接続フランジサイズ ICF152(スルー) ICF203(スルー)
駆動方式 マグネティックカップリング回転導入機
CAD図面
(DXFファイル EXE形式)
ダウンロード ダウンロード
標準価格(税抜) 192,000 円 230,000 円
見積もり
特徴
  • シャッター駆動部にはマグネット式の回転導入機が取り付けられています。
  • サイズは、ICF-70・114・152・203となります。
  • 真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです。
  • RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。
  • バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です。
  • 各種ビューイングポートに対応可能です。
  • フリクションコントロール機能により、任意のオープン角度の設定が可能です。
  • 250℃でのベーキングが可能です。
  • オプションで圧空作動も可能です。

商品別|導入機

シャッター機構
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